- 원자층 증착법으로 성장한 ZnO-ZnMgO 양자우물의 광전이 특성
- ㆍ 저자명
- 신용호,김용민,Shin. Y.H.,Kim. Yongmin
- ㆍ 간행물명
- 韓國眞空學會誌
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|22권 1호|pp.7-12 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
원자층 증착법을 이용하여 서로 다른 양자우물 폭을 갖는 ZnO-ZnMgO 양자우물들을 제작하였다. 제작된 시료들은 양자우물 폭에 따라 서로 다른 광전이 특성을 나타내는데 우물 폭이 1.5 nm인 시료의 경우 후 열처리에 따른 Mg의 확산에 따라 양자화된 에너지 준위가 형성되지 않았고 이보다 더 넓은 폭을 갖는 시료들의 경우 양자화된 준위의 광전이를 보임을 확인하였다.
We fabricated ZnO-ZnMgO single quantum well (SQW) samples having different well-widths by using the atomic layer deposition technique. The QW samples exhibit different optical transition behaviors with different QW widths. We confirm that when the well-width of 1.5 nm does not have a confined quantum energy level due to the Mg diffusion into the well caused by after-thermal treatment whereas the QWs wider than 1.5 nm show optical transitions between the confined energy levels.