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원자층 증착법으로 성장한 ZnO-ZnMgO 양자우물의 광전이 특성
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  • 원자층 증착법으로 성장한 ZnO-ZnMgO 양자우물의 광전이 특성
저자명
신용호,김용민,Shin. Y.H.,Kim. Yongmin
간행물명
韓國眞空學會誌
권/호정보
2013년|22권 1호|pp.7-12 (6 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

원자층 증착법을 이용하여 서로 다른 양자우물 폭을 갖는 ZnO-ZnMgO 양자우물들을 제작하였다. 제작된 시료들은 양자우물 폭에 따라 서로 다른 광전이 특성을 나타내는데 우물 폭이 1.5 nm인 시료의 경우 후 열처리에 따른 Mg의 확산에 따라 양자화된 에너지 준위가 형성되지 않았고 이보다 더 넓은 폭을 갖는 시료들의 경우 양자화된 준위의 광전이를 보임을 확인하였다.

기타언어초록

We fabricated ZnO-ZnMgO single quantum well (SQW) samples having different well-widths by using the atomic layer deposition technique. The QW samples exhibit different optical transition behaviors with different QW widths. We confirm that when the well-width of 1.5 nm does not have a confined quantum energy level due to the Mg diffusion into the well caused by after-thermal treatment whereas the QWs wider than 1.5 nm show optical transitions between the confined energy levels.