- 산화물반도체 박막트랜지스터 제작 및 전기적 특성 분석
- ㆍ 저자명
- 이상렬,Lee. Sang Yeol
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|26권 4호|pp.275-277 (3 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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Thin-film transistors(TFTs) with silicon zinc tin oxide(SZTO) channel layer are fabricated by solution-process. The threshold voltage ($V_{th}$) shifted toward positive directly with increasing Si contents in SZTO system. Because the Si has a lower standard electrode potential (SEP) than Sn, Zn, thus degenerate the oxygen vacancy (VO). As a result, the Si act as carrier suppressor and oxygen binder in the SZTO as well as a $V_{th}$ controller.