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500 V 급 Planar Power MOSFET의 P 베이스 농도 변화에 따른 설계 및 특성 향상에 관한 연구
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  • 500 V 급 Planar Power MOSFET의 P 베이스 농도 변화에 따른 설계 및 특성 향상에 관한 연구
저자명
김권제,강예환,권영수,Kim. Gwon Je,Kang. Ye Hwan,Kwon. Young-Soo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 4호|pp.284-288 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Power MOSFETs(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) operate as energy control semiconductor switches. In order to reduce energy loss of the device during switch-on state, it is essential to increase its conductance. We have experimental results and explanations on the doping profile dependence of the electrical behavior of the vertical MOSFET. The device is fabricated as $8.25{mu}m$ cell pitch and $4.25{mu}m$ gate width. The performances of device with various p base doping concentration are compared at Vth from 1.77 V to 4.13 V. Also the effect of the cell structure on the on-resistance and breakdown voltage of the device are analyzed. The simulation results suggest that the device optimized for various applications can be further optimized at power device.