- RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제작한 MGZO 박막의 구조적 및 전기적, 광학적 특성에 미치는 스퍼터링 전력의 영향
- ㆍ 저자명
- 김인영,신승욱,김민성,윤재호,허기석,정채환,문종하,이정용,김진혁,Kim. In Young,Shin. Seung Wook,Kim. Min Sung,Yun. Jae Ho,Heo. Gi Seok,Jeong. Chae Hwan,Moon.
- ㆍ 간행물명
- 한국재료학회지
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|23권 3호|pp.155-160 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
