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솔벤트 증기를 이용한 폴리머 마이크로 렌즈의 표면 연마
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  • 솔벤트 증기를 이용한 폴리머 마이크로 렌즈의 표면 연마
저자명
김신형,송준엽,이평안,김보현,오영탁,조영학,Kim. Sin Hyeong,Song. Jun Yeob,Lee. Pyeong An,Kim. Bo Hyun,Oh. Young Tak,Cho. Young Hak
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2013년|30권 6호|pp.644-649 (6 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Today, there are lots of progresses in the field of lens researches, especially in the microlens fabrication. Unlike normal lenses, microlens has been widely used as a role of improving the performance of photonic devices which increase the optical precision, and also used in the fields of the display. In this paper, polymer microlenses with $300{mu}m$ diameter were replicated through hot-embossing from nickel mold which was fabricated by micro-EDM. After hot-embossing process, the polymer microlenses have a rough surface due to the crater formed by micro-EDM process, which is projected onto the surface of the lenses. The surface of polymer microlenses was polished using solvent vapor to improve the surface roughness of the microlenses without changing their shape. In the experiment, the surface roughness was improved with the processing time and vapor temperature. Also, the roughness improvement was greatly affected by the solubility difference between polymer and solvent.