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PLD법으로 PES 기판 위에 제작된 Mg0.1Zn0.9O 박막의 제작 조건에 따른 특성
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  • PLD법으로 PES 기판 위에 제작된 Mg0.1Zn0.9O 박막의 제작 조건에 따른 특성
저자명
김상현,이현민,장낙원,박미선,이원재,김홍승,Kim. Sang-Hyun,Lee. Hyun-Min,Jang. NakWon,Park. Mi-Seon,Lee. Won-Jae,Kim. Hong-Seung
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 8호|pp.602-607 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Concern for the TOS (Transparent Oxide Semiconductor) is increasing with the recent increase in interest for flexible device. Especially MgZnO has attracted a lot of attention. $Mg_xZn_{1-x}O$, which ZnO-based wideband-gap alloys is tuneable the band-gap ranges from 3.36 eV to 7.8 eV. In particular, the flexible substrate, the crystal structure of the amorphous as well as the surface morphology is not good. So research of MgZnO thin films growth on flexible substrate is essential. Therefore, in this study, we studied on the effects of the oxygen partial pressure on the structural and crystalline of $Mg_{0.1}Zn_{0.9}O$ thin films. MgZnO thin films were deposited on PES substrate by using pulsed laser deposition. We used XRD and AFM in order to observe the structural characteristics of MgZnO thin films. UV-visible spectrophotometer was used to get the band gap and transmittance. Crystallization was done at a low oxygen partial pressure. The crystallinity of MgZnO thin films with increasing temperature was improved, Grain size and RMS of the films were increased. MgZnO thin films showed high transmittance over 80% in the visible region.