- Dry thermal development of negative electron beam resist polystyrene
- Dry thermal development of negative electron beam resist polystyrene
- ㆍ 저자명
- Con. Celal,Abbas. Arwa Saud,Yavuz. Mustafa,Cui. Bo
- ㆍ 간행물명
- Advances in nano research
- ㆍ 권/호정보
- 2013년|1권 2호|pp.105-109 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 테크노프레스
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
