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MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 연구
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  • MEMS 공정을 통한 마이크로 Pb(Zr,Ti)O3 박막 압전 외팔보 에너지 수확소자의 제작 및 특성 연구
저자명
이준명,천인우,김문근,권광호,이현우,Lee. Junmyung,Chun. Inwoo,Kim. Moonkeun,Kwon. Kwang-Ho,Lee. Hyun Woo
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2013년|26권 11호|pp.831-835 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, we fabricated a micro $Pb(Zr,Ti)O_3$ (PZT) film piezoelectric cantilever with a Si proof mass and dual beams through MEMS process. The size of the beam and the integrated Si proof mass were about $4,320{mu}m{ imes}290{mu}m{ imes}12{mu}m$ and $1,380{mu}m{ imes}880{mu}m{ imes}450{mu}m$ each. To reduce the air damping and have the larger displacement of dual beams was used for design. After mounting micro PZT film piezoelectric cantilever on shaker, we measured the resonance frequency and a output voltage while making resonant frequency changed. The resonant frequency and the highest average power of the cantilever device were 110.2 Hz and 0.36 ${mu}W$ each, at 0.8 g acceleration and 23.7 $k{Omega}$ load resistance, respectively.