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2 배수 피치비를 갖는 이중 격자 측정법을 이용한 축방향 롤 회전 오차 측정
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  • 2 배수 피치비를 갖는 이중 격자 측정법을 이용한 축방향 롤 회전 오차 측정
저자명
김기홍,알렉세이-대성 텐,임형준,이재종,최기봉,Kim. Geehong,Ten. Aleksey-Desen,Lim. Hyungjun,Lee. Jaejong,Choi. Keebong
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2013년|30권 12호|pp.1273-1279 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We propose a dual grating alignment technique for roll-to-roll positioning which allows achieving nanometer scale alignment by using micro-size marks. The high precision alignment system were designed and manufactured. It was confirmed that the optical system was properly adjusted and fully aligned with the dual gratings. The experiment and computer simulation results were presented. Alignment accuracy below 50 nm was achieved.