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DC 스퍼터법과 비대칭 양극성 펄스 스퍼터법으로 제작된 고분자 전해질 연료전지 금속분리판용 CrN 코팅막의 특성 연구
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  • DC 스퍼터법과 비대칭 양극성 펄스 스퍼터법으로 제작된 고분자 전해질 연료전지 금속분리판용 CrN 코팅막의 특성 연구
저자명
박상원,전성용,Park. Sang-Won,Chun. Sung-Yong
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2013년|50권 6호|pp.390-395 (6 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Nanocrystalline CrN films were deposited on Si (100) substrates by means of asymmetric pulsed DC reactive magnetron sputtering. We investigated the growth behavior, corrosion resistance and mechanical properties of CrN films with a change in the duty cycle and pulse frequency. The grain size of the CrN films decreased from 25.4 nm to 11.2 nm upon a decrease in the duty cycle. The corrosion potentials for the CrN films by DC sputtering was approximately - 0.6 V, and it increased to - 0.3 V in the CrN films which underwent pulsed sputtering. The nanoindentation hardness of the CrN films also increased with a decrease in the duty cycle. This enhancement of the corrosion resistance and mechanical properties of pulsed sputtered CrN films could be attributed to the densification and surface smoothness of the microstructure of the films.