1980년대 후반 본격적인 연구가 이루어진 MEMS는 최근에 이르러 자동차, 핸드폰 등 일상생활간 다양한 분야에서 활용되고 있다. 특히, 2000년대에 들어선 이후로는 나노기술과 연계한 NEMS에 대한 연구 또한 활발하게 이루어지고 있는 가운데, 몇몇 선진국에서는 수년간의 투자 끝에 MEMS/NEMS의 군사분야 활용에 성공을 거두고 있다. 따라서 이 글에서는 MEMS/NEMS를 소개하고 군사분야 활용 가능성과 군사분야 활용사례에 대해 MEMS/NEMS 연구자 및 군인으로서의 경험과 식견 그리고 최신자료 등을 바탕으로 이야기하고자 한다.