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박막 절단용 PZT 구동 미세깊이 조절 장치의 특성
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  • 박막 절단용 PZT 구동 미세깊이 조절 장치의 특성
저자명
류상오,김화영,안중환,Ryu. Sang-Oh,Kim. Hwa-Young,Ahn. Jung-Hwan
간행물명
한국생산제조시스템학회지
권/호정보
2014년|23권 6호|pp.630-635 (6 pages)
발행정보
한국생산제조시스템학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This study aims to develop a PZT-driven depth adjustment device with a flexure hinge and to investigate its static/dynamic characteristics. This device will be applied to rapidly and accurately trace a flat surface with slight waviness of up to several hundreds of micrometers in magnitude. One typical example is to cut a film coated on a steel plate. A depth control system composed of PMAC, PZT/PZT amplifier, flexure hinge/knife, and laser displacement sensor is implemented on a desktop three-axis machine and an actual cutting test is conducted on a steel workpiece with a sinusoidal-wavy surface. It is verified that the dynamic characteristics of the device limit the maximum cutting speed and depth precision.