- 대전 방지용 웨이퍼 캐리어의 전기적 특성
- ㆍ 저자명
- 채종윤,윤종국,강옥구,류봉조,구경완,Chea. Jong-Yun,Yoon. Jong-Kuk,Kang. Ok-Gu,Ryu. Bong-Jo,Koo. Kyung-Wan
- ㆍ 간행물명
- 전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
- ㆍ 권/호정보
- 2014년|63권 2호|pp.319-324 (6 pages)
- ㆍ 발행정보
- 대한전기학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
