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펄스레이저 공정으로 제조한 Sb가 도핑된 SnO2 박막의 전기적 및 광학적 특성
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  • 펄스레이저 공정으로 제조한 Sb가 도핑된 SnO2 박막의 전기적 및 광학적 특성
저자명
장기선,이정우,김중원,유상임,Jang. Ki-Sun,Lee. Jung-Woo,Kim. Joongwon,Yoo. Sang-Im
간행물명
한국세라믹학회지
권/호정보
2014년|51권 1호|pp.43-50 (8 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We fabricated undoped and Sb-doped $SnO_2$ thin films on glass substrates by a pulsed laser deposition (PLD) process. Undoped and 2 - 8 wt% $Sb_2O_3$-doped $SnO_2$ targets with a high density level of ~90% were prepared by the spark plasma sintering (SPS) process. Initially, the effects of the deposition temperature on undoped $SnO_2$ thin films were investigated in the region of $100-600^{circ}C$. While the undoped $SnO_2$ film exhibited the lowest resistivity of $1.20{ imes}10^{-2}{Omega}{cdot}cm$ at $200^{circ}C$ due to the highest carrier concentration generated by the oxygen vacancies, 2 wt% Sb-doped $SnO_2$ film exhibited the lowest resistivity value of $5.43{ imes}10^{-3}{Omega}{cdot}cm$, the highest average transmittance of 85.8%, and the highest figure of merit of 1202 ${Omega}^{-1}{cdot}cm^{-1}$ at $400^{circ}C$ among all of the doped films. These results imply that 2 wt% $Sb_2O_3$ is an optimum doping content close to the solubility limit of $Sb^{5+}$ substitution for the $Sb^{4+}$ sites of $SnO_2$.