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고경사 자유곡면 측정을 위한 파장변조 층밀리기 간섭계
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  • 고경사 자유곡면 측정을 위한 파장변조 층밀리기 간섭계
저자명
이혁교,김영식,이주형,양호순,이윤우,Rhee. Hyug-Gyo,Ghim. Young-Sik,Lee. Joohyong,Yang. Ho-Soon,Lee. Yun Woo
간행물명
한국정밀공학회지
권/호정보
2014년|31권 3호|pp.199-205 (7 pages)
발행정보
한국정밀공학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

We propose a new variant of lateral shearing interferometer with a tunable laser source that enables 3D surface profile measurements of freeform optics with high speed, high vertical resolution, large departure, and large field-of-view. We have verified the proposed technique by comparing our measurement result with that of an existing technique and measuring a representative sample of freeform optics. Moreover, we propose a new algorithm that is able to compensate the rotational inaccuracy.