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Scaling Down Characteristics of Vertical Channel Phase Change Random Access Memory (VPCRAM)
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  • Scaling Down Characteristics of Vertical Channel Phase Change Random Access Memory (VPCRAM)
저자명
Park. Chun Woong,Park. Chongdae,Choi. Woo Young,Seo. Dongsun,Jeong. Cherlhyun,Cho. Il Hwan
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2014년|14권 1호|pp.48-52 (5 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, scaling down characteristics of vertical channel phase random access memory are investigated with device simulator and finite element analysis simulator. Electrical properties of select transistor are obtained by device simulator and those of phase change material are obtained by finite element analysis simulator. From the fusion of both data, scaling properties of vertical channel phase change random access memory (VPCRAM) are considered with ITRS roadmap. Simulation of set reset current are carried out to analyze the feasibility of scaling down and compared with values in ITRS roadmap. Simulation results show that width and length ratio of the phase change material (PCM) is key parameter of scaling down in VPCRAM. Thermal simulation results provide the design guideline of VPCRAM. Optimization of phase change material in VPCRAM can be achieved by oxide sidewall process optimization.