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루테늄 전극위에 증착된 PZT 박막의 전기적 및 강유전 특성
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  • 루테늄 전극위에 증착된 PZT 박막의 전기적 및 강유전 특성
저자명
황현석,유영식,임윤식,강현일,Hwang. Hyun Suk,Yu. Yougn Sik,Lim. Yun-Sik,Kang. Hyun-Il
간행물명
전기학회논문지. The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. P
권/호정보
2014년|63권 1호|pp.46-49 (4 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3(PZT)$ thin films deposited on $Ru/RuO_2$ bottom electrode that grown for in-situ progress used rf magnetron sputtering method. We investigated the dependence of the crystalline and electrical properties in the way of capacitors PZT thin films. Our results show that all PZT films indicated polycrystalline perovskite structure with preferred orientation (110) and no pyrochlore phase is observed. The electric properties of the Ru improved with increasing Ru thin films thickness. A well-fabricated Ru/PZT/Ru (100 nm) /$RuO_2$ capacitor showed a leakage current density in the order of $2.03{ imes}10^{-7}$ $A/cm^2$ as a 50 kV/cm, a remnant polarization (Pr) of 9.22 ${mu}C/cm^2$, and a coercive field (-EC) of -32.22 kV/cm. The results show that $Ru/Ru/RuO_2$ bottom electrodes are expected to reduce the degradation ferroelectric fatigue and excellent ferroelectric properties.