- PC 기판상에 스퍼터링된 투명전도 산화막의 레이저 식각 특성
- ㆍ 저자명
- 이정민,권상직,조의식,Lee. Jeongmin,Kwon. Sang Jik,Cho. Eou Sik
- ㆍ 간행물명
- 전기전자재료학회논문지
- ㆍ 권/호정보
- 2014년|27권 3호|pp.146-150 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국전기전자재료학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
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As a method of simple patterning of transparent conductive oxide (TCO) films deposited on flexible substrates, laser direct etching was carried out on TCO films sputtered on polycarbonate (PC) substrates. As a result of different binding energies in TCO films, indium tin oxide (ITO) and indium gallium zinc oxide (IGZO) were more easily etched than zinc oxide with different $Nd:YVO_4$ laser beam conditions.