본 논문에서는 클린 룸 환경의 생산 설비에서 발생하는 미세입자, 온도, 습도 값을 측정하여 블루투스 통신을 통해 전송하는 4-채널 미세입자 계수기를 개발하였다. 이를 위해 광학 렌즈와 입자 검출 챔버를 설계하고, 미세 검출 회로를 다채널로 설계하여 $0.3{mu}m$에서 $5{mu}m$ 내외의 미세 입자를 측정할 수 있도록 하였다. 그리고 측정된 값을 상시 모니터링 하기 위해 FMS(Facility Monitoring Systems) 프로그램을 개발하고, 실험을 통해 개발된 시스템이 안정적으로 동작함을 확인하였다.
In this paper, we developed a 4-channel particle counter for measuring particles, temperature, humidity in production facilities of clean-room environment, and the measured data can be transmitted via bluetooth. To measure the particle size ranging 0.3um~5um, we designed optical lens, particle detection chamber and multi-channel particle detection circuit. And we also developed a FMS program for real-time monitoring of measuring data, which resulted in the stable operation.
