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Numerical Investigation of RF Pulsing Effect on Ion Energy Distributions at RF-biased Electrodes
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  • Numerical Investigation of RF Pulsing Effect on Ion Energy Distributions at RF-biased Electrodes
  • Numerical Investigation of RF Pulsing Effect on Ion Energy Distributions at RF-biased Electrodes
저자명
Kwon. Deuk-Chul,Song. Mi-Young,Yoon. Jung-Sik
간행물명
Applied science and convergence technology
권/호정보
2014년|23권 5호|pp.265-272 (8 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The ion energy distributions (IEDs) arriving at a substrate strongly affect the etching rates in plasma etching processes. In order to determine the IEDs accurately, it is important to obtain the characteristics of radio frequency (rf) sheath at pulsed rf substrates. However, very few studies have been conducted to investigate pulsing effect on IEDs at multiple rf driven electrodes. Therefore, in this work, we extended previous one-dimensional dynamics model for pulsed-bias electrodes. We obtained the IEDs using the developed rf sheath model and observed that numerically solved IEDs are in a good agreement with the experimental results.