기관회원 [로그인]
소속기관에서 받은 아이디, 비밀번호를 입력해 주세요.
개인회원 [로그인]

비회원 구매시 입력하신 핸드폰번호를 입력해 주세요.
본인 인증 후 구매내역을 확인하실 수 있습니다.

회원가입
서지반출
Dependence of Annealing Temperature on Properties of PZT Thin Film Deposited onto SGGG Substrate
[STEP1]서지반출 형식 선택
파일형식
@
서지도구
SNS
기타
[STEP2]서지반출 정보 선택
  • 제목
  • URL
돌아가기
확인
취소
  • Dependence of Annealing Temperature on Properties of PZT Thin Film Deposited onto SGGG Substrate
  • Dependence of Annealing Temperature on Properties of PZT Thin Film Deposited onto SGGG Substrate
저자명
Im. In-Ho,Chung. Kwang-Hyun,Kim. Duk-Hyun
간행물명
Transactions on electrical and electronic materials
권/호정보
2014년|15권 5호|pp.253-256 (4 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
서지반출

기타언어초록

$Pb(Zr_{0.52}Ti_{0.48})O_3$ thin films of $1.5{mu}m$ thickness were grown on $Pt/Ti/Gd_3Ga_5O_{12}$ substrate by RF magnetron sputtering at annealing temperatures ranging from $550^{circ}C$ to $700^{circ}C$. We evaluated the residual stress, by using a William-Hall plot, as a function of the annealing temperatures of PZT thin film with a constant thickness. As a result, the residual stresses of PZT thin film of $1.5{mu}m$ thickness were changed by varying the annealing temperature. Also, we measured the hysteresis characteristic of PZT thin films of $1.5{mu}m$ thickness to evaluate for application of an optoelectronic device.