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촉매 화학기상증착 공정에서 온도구배 설정을 통한 타이타늄 기판에서의 CNT 성장 거동
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  • 촉매 화학기상증착 공정에서 온도구배 설정을 통한 타이타늄 기판에서의 CNT 성장 거동
저자명
박주혁,변종민,김형수,석명진,오승탁,김영도,Park. Ju Hyuk,Byun. Jong Min,Kim. Hyung Soo,Suk. Myung-Jin,Oh. Sung-Tag,Kim. Young Do
간행물명
한국분말야금학회지
권/호정보
2014년|21권 5호|pp.371-376 (6 pages)
발행정보
한국분말야금학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this study, modified catalytic chemical vapor deposition (CCVD) method was applied to control the CNTs (carbon nanotubes) growth. Since titanium (Ti) substrate and iron (Fe) catalysts react one another and form a new phase ($Fe_2TiO_5$) above $700^{circ}C$, the decrease of CNT yield above $800^{circ}C$ where methane gas decomposes is inevitable under common CCVD method. Therefore, we synthesized CNTs on the Ti substrate by dividing the tube furnace into two sections (left and right) and heating them to different temperatures each. The reactant gas flew through from the end of the right tube furnace while the Ti substrate was placed in the center of the left tube furnace. When the CNT growth temperature was set $700/950^{circ}C$ (left/right), CNTs with high yield were observed. Also, by examining the micro-structure of CNTs of $700/950^{circ}C$, it was confirmed that CNTs show the bamboo-like structure.