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Low Specific On-resistance SOI LDMOS Device with P+P-top Layer in the Drift Region
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  • Low Specific On-resistance SOI LDMOS Device with P+P-top Layer in the Drift Region
  • Low Specific On-resistance SOI LDMOS Device with P+P-top Layer in the Drift Region
저자명
Yao. Jia-Fei,Guo. Yu-Feng,Xu. Guang-Ming,Hua. Ting-Ting,Lin. Hong,Xiao. Jian
간행물명
Journal of semiconductor technology and science
권/호정보
2014년|14권 5호|pp.673-681 (9 pages)
발행정보
대한전자공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, a novel low specific on-resistance SOI LDMOS Device with P+P-top layer in the drift region is proposed and investigated using a two dimensional device simulator, MEDICI. The structure is characterized by a heavily-doped $P^+$ region which is connected to the P-top layer in the drift region. The $P^+$ region can modulates the surface electric field profile, increases the drift doping concentration and reduces the sensitivity of the breakdown voltage on the geometry parameters. Compared to the conventional D-RESURF device, a 25.8% decrease in specific on-resistance and a 48.2% increase in figure of merit can be obtained in the novel device. Furthermore, the novel $P^+P$-top device also present cost efficiency due to the fact that the $P^+$ region can be fabricated together with the P-type body contact region without any additional mask.