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마이크로볼로미터 응용을 위한 스핀 스프레이로 증착된 스피넬 박막
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  • 마이크로볼로미터 응용을 위한 스핀 스프레이로 증착된 스피넬 박막
저자명
전창준,이귀웅,레득탕,정영훈,윤지선,백종후,조정호,Jeon. Chang Jun,Lee. Kui Woong,Le. Duc Thang,Jeong. Young Hun,Yun. Ji Sun,Paik. Jong Hoo,Cho. Jeong
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2014년|27권 12호|pp.809-814 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Spinel thin films were prepared by the spin spray technique to develop new thermal imaging materials annealed at low temperature for uncooled microbolometer applications. The spinel thin films were deposited from $[(Ni_{0.30}Co_{0.33}Mn_{0.37})_{1-x}Cu_x]_3O_4$ ($0.1{leq}x{leq}0.2$) solutions and then annealed at $400^{circ}C$ for 1 h in argon. Effects of Cu content (x) and deposition time on the electrical properties of the annealed films were investigated. With increasing deposition time, the resistivity of the annealed films increased. For the annealed films deposited for 1 min, the resistivity of x=0.15 films was lower than that of x=0.1 films due to the different grain sizes. The high temperature coefficient of resistance (TCR) of the annealed films could be obtained at temperature below $50^{circ}C$. Typically, the resistivity of $127{Omega}{cdot}cm$ and TCR of -5.69%/K at $30^{circ}C$ were obtained for x=0.1 films with deposition time of 1 min annealed at $400^{circ}C$ for 1 h in argon.