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적외선 센서용 [(Co1-xCux)0.2(Ni0.3Mn0.7)0.8]3O4 스피넬 박막의 구조 및 전기적 특성
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  • 적외선 센서용 [(Co1-xCux)0.2(Ni0.3Mn0.7)0.8]3O4 스피넬 박막의 구조 및 전기적 특성
저자명
이귀웅,전창준,정영훈,윤지선,조정호,백종후,윤종원,Lee. Kui Woong,Jeon. Chang Jun,Jeong. Young Hun,Yun. Ji Sun,Cho. Jeong Ho,Paik. Jong Hoo,Yoon. Jong-
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2014년|27권 12호|pp.825-830 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$[(Co_{1-x}Cu_x)_{0.2}(Ni_{0.3}Mn_{0.7})_{0.8}]_3O_4$ ($0{leq}x{leq}1$) thin films prepared by metal organic decomposition process were fabricated on SiN/Si substrate for infrared sensor application. Their structural and electrical properties were investigated with variation of Cu dopant. The $[(Co_{1-x}Cu_x)_{0.2}(Ni_{0.3}Mn_{0.7})_{0.8}]_3O_4$ (CCNMO) film annealed at $500^{circ}C$ exhibited a dense microstructure and a homogeneous crystal structure with a cubic spinel phase. Their crystallinity was further enhanced with increasing doped Cu amount. The 120 nm-thick CCNMO (x=0.6) thin film had a low resistivity of $53{Omega}{cdot}cm$ at room temperature while the Co-free film (x=1) showed a significantly decreased resistivity of $5.9{Omega}{cdot}cm$. Furthermore, the negative temperature coefficient of resistance (NTCR) characteristics were lower than $-2%/^{circ}C$ for all the specimens with $x{geq}0.6$. These results imply that the CCNMO ($x{geq}0.6$) thin films are a good candidate material for infrared sensor application.