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Extended Trench Gate Superjunction Lateral Power MOSFET for Ultra-Low Specific on-Resistance and High Breakdown Voltage
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  • Extended Trench Gate Superjunction Lateral Power MOSFET for Ultra-Low Specific on-Resistance and High Breakdown Voltage
  • Extended Trench Gate Superjunction Lateral Power MOSFET for Ultra-Low Specific on-Resistance and High Breakdown Voltage
저자명
Cho. Doohyung,Kim. Kwangsoo
간행물명
ETRI journal
권/호정보
2014년|36권 5호|pp.829-834 (6 pages)
발행정보
한국전자통신연구원
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

In this paper, a lateral power metal-oxide-semiconductor field-effect transistor with ultra-low specific on-resistance is proposed to be applied to a high-voltage (up to 200 V) integrated chip. The proposed structure has two characteristics. Firstly, a high level of drift doping concentration can be kept because a tilt-implanted p-drift layer assists in the full depletion of the n-drift region. Secondly, charge imbalance is avoided by an extended trench gate, which suppresses the trench corner effect occurring in the n-drift region and helps achieve a high breakdown voltage (BV). Compared to a conventional trench gate, the simulation result shows a 37.5% decrease in $R_{on.sp}$ and a 16% improvement in BV.