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Al2O3 첨가에 따른 potashborosilicate glass ceramic 기판의 특성변화에 관한연구
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  • Al2O3 첨가에 따른 potashborosilicate glass ceramic 기판의 특성변화에 관한연구
저자명
김용철
간행물명
마이크로전자 및 패키징 학회지
권/호정보
1998년|5권 2호|pp.53-58 (6 pages)
발행정보
한국마이크로전자및패키징학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Sintering and dielectric characteristics of substrates were estimated by mixing rate of alumina and potashborosilicate glass(PBSG) powders. PBSG powders were used 7761(corning code)and alumina powders were used in extra pure rate(99.9%) and had 0.1 ${mu}$m mean size. After ball milling with organic additives green sheets which were casted by doctor blade machine were sintered at 800$^{circ}C$ for 1∼3hrs. Microstructure, linear shrinkage and dielectric constant of substrates were surveyed in order to fabricate low-dielectric and low tem-perature sintering substrate.