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저온소결용 알루미나 세라믹스 복합체 합성(I)
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  • 저온소결용 알루미나 세라믹스 복합체 합성(I)
저자명
김병익
간행물명
마이크로전자 및 패키징 학회지
권/호정보
1998년|5권 1호|pp.19-30 (12 pages)
발행정보
한국마이크로전자및패키징학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Aluminium secondary butoxide(ASB)를 출발물질로 하여 졸-겔방법에 의해 소결거 동에 미치는 $alpha$-Al2O3 seed의 첨가효과에 따른 알루미나의 저온소결 가능성과 알루미나의 상전이에 대하여 TEM, DTA, XRD, FT-IR등으로 고찰을 하였다. TEM 분석결과 초기 생 성물인 boehmite가 비정질에서 단결정질로 진행되어 가고 있음을 확인하였다. 그리고 DTA 분석결과 $alpha$-Al2O3 seed의 첨가한 경우 seed의 함량이 증가함에 따라 상전이 온도는 점차 낮아졌으며 약 0.4wt%일 때 seed를 첨가하지 않은 시료의 전이온도(약 1126$^{circ}C$)에 비하여 약 7$0^{circ}C$ 저하된 약 1056$^{circ}C$로나타났으며 그 이상의 seedcja가에 있어서는 전이온도에 크게 영향을 나타내지 않았다. 또한 XRD분석결과 $alpha$-Al2O3 seed를 첨가하지 않은 경우 110$0^{circ}C$이 상의 온도에서 $alpha$상이 생성되었음을 알수 있었다. 또한 100$0^{circ}C$이상의 온도에서 $alpha$상이 생성 되었음을 나타내는 Al-O 흡수특성 피크가 400~1000cm-1 범위에서 나타내고 있는 것을 FT-IR 분석결과에서도 확인할수 있었다. 그리고 $alpha$-Al2O3 seed를 약 0.4wt% 첨가시 900~ 95$0^{circ}C$에서 $alpha$상이 형성됨을 관찰할 수 있었다.