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High energy ion implantation system with tandem accelerator
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  • High energy ion implantation system with tandem accelerator
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저자명
Kim. Y. S.,Woo. H. J.,Choi. H. W.,Kim. G. D.,Kim. J. K.,Shin. H. K.
간행물명
The Journal of Korean vacuum science & technology
권/호정보
1998년|2권 1호|pp.32-36 (5 pages)
발행정보
한국진공학회
파일정보
정기간행물|ENG|
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A MeV ion implantation system with an 1.7 MV tandem Van de Graaff accelerator has been in the Korea Institute of Geology Mining and Materials. Almost all ions from hydrogen to uranium with several MeV can be implanted. The implantation system consists of a raster beam scanner with scanning frequency 64${ imes}$517 Hz, a target holder capable of holding 5${ imes}$5㎤ sample, a target cooler, an electron flooding gun and a Faraday cup with electron suppressor. The energy range of ions are from about 200 keV to 3.4 MeV in the case of hydrogen and about 200 keV to 12MeV for As for instance. The maximum beam current at the target is about 5${mu} extrm{A}$ depending on the ion production capability of the ion sources. The implantation nonuniformity is about 6%. the performance of the charge neutralization system is shown.