- High energy ion implantation system with tandem accelerator
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- ㆍ 저자명
- Kim. Y. S.,Woo. H. J.,Choi. H. W.,Kim. G. D.,Kim. J. K.,Shin. H. K.
- ㆍ 간행물명
- The Journal of Korean vacuum science & technology
- ㆍ 권/호정보
- 1998년|2권 1호|pp.32-36 (5 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국진공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
