박막은 제조 장비와 박막 초기 생성 조건에 따라서 다양한 입자의 형상을 가질 수 있다. 제조된 박막 입자의 크기는 작게는 수 나노미터부터 수십 마이크로미터 까지 다양하게 성장이 되어 진다. 박막의 생성은 온도조건, 증착시간, 유입되는 가스의 양, 그리고 박막을 만드는 공간의 진공상태가 입자의 형상을 각진 모습부터 둥근 형태등의 형상을 만들 수 있다. 본 연구에서는 스퍼터내 내부 환경을 변화시킨 후 실리콘 금속기판과 유리 기판위에 산화아연을 성장시켜서 박막의 입자 성장이 어떻게 변화되는가를 관찰 하였다. 성장된 박막은 전자 현미경을 통하여 관찰하였다. 전자현미경을 통해서 박막의 표면을 관찰한 결과 입자의 형상은 각진 모습, 원형모습, 입자들이 뭉쳐져 성장이 되는 다양한 모습등이 관찰 되었고, 입자의 크기도 수 나노미터부터 수 마이크로미터까지 다양한 모습이 관찰되었다. 박막의 단면의 형상도 주상구조부터 원형기둥까지 다양한 형상이 관찰되어서 박막의 초기 조건이 박막입자의 형상과 박막의 계면, 단면의 형상에 영향을 미치는 것을 확인하였다.
When forming a thin film according to the deposition method and the initial deposition condition, the shape of the particle is various deposited. The grain size of thin film is variously grown from several nanometers to several tens of micrometers. The formation temperature of the thin film, the deposition time, the amount of the introduced gas, and the vacuum state of the space in which the thin film is formed can form a shape such as a round shape from the shape of the particle. In this study, we investigated how the grain growth of the thin film was changed by growing zinc oxide on a silicon substrate and a glass substrate after changing the internal environment of the sputter. The grown thin film was observed through an scanning electron microscope. As a result of observing the surface of the thin film through an scanning electron microscope, various shapes such as an angular shape, a circular shape, and a cluster of particles were observed, and the particle size varied from several nanometers to several micrometers. The shape of the cross section of the thin film was observed from the columnar structure to the circular column, and it was confirmed that the initial condition of the thin film affects the shape of the thin film particle, the interface of the thin film, and the shape of the cross section.
1. 서론 2. 실험 방법 및 논의 3. 결론
