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91.

W 및 Ti 박막 위에서 나노결정질 다이아몬드의 성장 거동

박동배, 명재우, 나봉권, 강찬형, Park. Dong-Bae, Myung. Jae-Woo, Na. Bong-Kwon, Kang. Chan Hyoung 한국표면공학회 한국표면공학회지 8 Pages

한국표면공학회 한국표면공학회지 2013, Vol.46 No.4 145-152 (8 pages)

박동배, 명재우, 나봉권, 강찬형, Park. Dong-Bae, Myung. Jae-Woo, Na. Bong-Kwon, Kang. Chan Hyoung 저

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92.

마이크로웨이브 플라즈마 CVD에 의한 나노결정질 다이아몬드 박막 성장 시 DC 바이어스 효과

김인섭, 강찬형, Kim. In-Sup, Kang. Chan Hyoung 한국표면공학회 한국표면공학회지 7 Pages

한국표면공학회 한국표면공학회지 2013, Vol.46 No.1 29-35 (7 pages)

김인섭, 강찬형, Kim. In-Sup, Kang. Chan Hyoung 저

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93.

입방정 질화붕소 박막의 잔류응력 형성에 미치는 산소 첨가 효과

장희연, 박종극, 이욱성, 백영준, 임대순, 정증현, Jang. Hee-Yeon, Park. Jong-Keuk, Lee. Wook-Seong, Baik. Young-Joon, Lim. Dae-Soon, Jeong. Jeung-Hyun 한국표면공학회 한국표면공학회지 7 Pages

한국표면공학회 한국표면공학회지 2007, Vol.40 No.2 91-97 (7 pages)

장희연, 박종극, 이욱성, 백영준, 임대순, 정증현, Jang. Hee-Yeon, Park. Jong-Keuk, Lee. Wook-Seong, Baik. Young-Joon, Lim. Dae-Soon, Jeong. Jeung-Hyun 저

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94.

메탄 하이드레이트 동적특성에 대한 실험적 연구

김남진, 천원기, Kim. Nam-Jin, Chun. Won-Gee 한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 7 Pages

한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 논문집 2006, Vol.26 No.2 19-25 (7 pages)

김남진, 천원기, Kim. Nam-Jin, Chun. Won-Gee 저

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95.

적층구조 촉매층(Al/Fe/Al)을 이용한 탄소나노튜브의 합성에서 최상층 알루미늄 층의 역할

송우석, 최원철, 전철호, 류동헌, 이승엽, 신용숙, 박종윤, Song. W., Choi. W.C., Jeon. C., Ryu. D.H., Lee. S.Y., Shin. Y.S., Park. C.Y. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.5 377-382 (6 pages)

송우석, 최원철, 전철호, 류동헌, 이승엽, 신용숙, 박종윤, Song. W., Choi. W.C., Jeon. C., Ryu. D.H., Lee. S.Y., Shin. Y.S., Park. C.Y. 저

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TCVD)법을 통해 탄소 나노튜브를(carbon nanotubes ; CNTs)를 합성하였다. Raman spectroscopy, SEM 및 HR-TEM 분석결과, G/D는 22.7이며, 직경이 $1.14;{sim};1.32;nm$인 금속성의 단일벽 탄소 나노튜브(single-walled CNTs ; SWCNTs)의 다발(bundle)들이 기판 전체에 network 구조로 형성되어 있는 것을 확인할 수 있었다. 이는 최상층의 Al이 촉매인 Fe의 응집현상(agglomeration)을 막아주는 역할을 하여 작고 균일한 핵 생성 사이트(nucleation site)를 통해 좁은 직경분포를 가진 단일벽 탄소 나노튜브가 합성되었음을 알 수 있다.
96.

질화갈륨 나노 막대 형성을 위한 핵화층의 성장 온도에 따른 물성 연구

이상화, 최혁민, 김진교, Lee. Sang-Hwa, Choe. Hyeok-Min, Kim. Chin-Kyo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.2 168-172 (5 pages)

이상화, 최혁민, 김진교, Lee. Sang-Hwa, Choe. Hyeok-Min, Kim. Chin-Kyo 저

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수소화물기상증착법을 이용하여 질화갈륨 핵화층을 성장시켰고, 성장 온도에 따라 상이한 구조적 특성을 갖는 핵화층이 질화갈륨 나노막대의 형성에 어떤 영향을 주는지 방사광 x-선 산란과 원자힘 현미경을 이용하여 연구하였다. 서로 다른 온도에서 성장시킨 질화갈륨 핵화층들의 (002) 브래그 봉우리에 대한 록킹 곡선(rocking curve)을 측정한 결과, 반폭치가 작은 주 봉우리와 반폭치가 넓은 작은 봉우리의 합으로 표현됨을 관측하였다. 이러한 현상은 핵화층의 표면 형상과 연관되어져서 설명될 수 있음을 정성적으로 보였고, AFM...
97.

RF UBM Sputtering에 의해 증착된 hBN 박막의 미세구조가 cBN 상의 핵형성에 미치는 영향

이은옥, 박종극, 임대순, 백영준, Lee. Eun-Ok, Park. Jong-Keuk, Lim. Dae-Soon, Baik. Young-Joon 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.4 150-156 (7 pages)

이은옥, 박종극, 임대순, 백영준, Lee. Eun-Ok, Park. Jong-Keuk, Lim. Dae-Soon, Baik. Young-Joon 저

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Si(100) 기판 위에 RF UBM 스퍼터링 (Unbalanced Magnetron Sputtering) 방법을 이용하여 BN 박막을 증착하였다. 이온 충돌 에너지에 영향을 주는 증착 압력과 기판 바이어스 전압을 변화시켜, 증착된 BN박막의 미세구조와 압축응력의 변화를 살펴보았다. 높은 증착 압력에서는 hBN laminate의 정렬도가 기판 바이어스 전압이 증가함에 따라 선형적으로 증가한 반면, 낮은 증착 압력에서는 낮은 기판 바이어스 전압에서 hBN laminate의 정렬도가 높게 나타났다. hBN 박막의 응력 변화와 표면 형상은 hBN laminate의 정렬도와 밀접한...
98.

상호 확산 반응 중의 생성상 제어

박준식, 김지훈, Park. Joon-Sik, Kim. Ji-Hoon 한국주조공학회 한국주조공학회지 7 Pages

한국주조공학회 한국주조공학회지 2006, Vol.26 No.1 27-33 (7 pages)

박준식, 김지훈, Park. Joon-Sik, Kim. Ji-Hoon 저

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99.

Bi<Sub>2O3를 첨가한 8M KOH용액에서 다결정 Ag전극의 전기화학적 거동

허태욱, 공영경, 정원섭, Hur. Tae-Uk, Kong. Yeong-Kyung, Chung. Won-Sub 한국전기화학회 전기화학회지 7 Pages

한국전기화학회 전기화학회지 2005, Vol.8 No.1 17-23 (7 pages)

허태욱, 공영경, 정원섭, Hur. Tae-Uk, Kong. Yeong-Kyung, Chung. Won-Sub 저

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[ $Bi_2O_3$ ]를 첨가한 8M KOH용액에서 다결정 Ag전극의 전기화학적인 거동과 생성된 산화물들의 미세조직 변화를 분석하였다. $Bi_2O_3$를 첨가한 8M KOH용액에서 Ag 산화물뿐만 아니라 새로운 Ag-Bi-O화합물들이 생성되는 것을 알 수 있었다. Ag(I) 산화물 생성 전위 영역에서는 $Ag_2O$ 이외에, Ag-Bi-O 화합물이 핵 생성과 3D성장 과정에 의해서 생성되고, Ag(II)산화물 생성 전위 영역에서는 AgO뿐만 아니라 새로운 Ag-Bi-O화합물들이 핵 생성과 3D성장 과정에 의해서 생성되었다. Ag(I) 산화물 생성 전위에서 두 가지 형상의 Ag(I)...
100.

Sol-Gel법으로 제조한 PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 박막의 유전특성

이성갑, 이영희 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages

한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 1998, Vol.11 No.11 990-995 (6 pages)

이성갑, 이영희 저

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금속 alkoxide용액을 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판위에 상호 반복시킨 강유전성 PZT(20/80)/PZT(80/20) 이종층 박막을 제작하였다. 건조와 소결을 한번 행한 PZT 이종층 박막의 평균 두께는 약 80~90 nm이었다. 제작된 모든 PZT 박막은 rosette상이 없는 치밀하고 균질한 미세구조를 나타내었으며, 하부의 PZT층은 열처리시 상부 PZT층은 열처리시 상부 PZT 박막의 페로브스카이트 형성에 대해 nucleation site로 작용하였다. 유전상수, 피로특성 및 누설전류특성 등은 단일 조성의 PZT(20/80), PZT(80/20) 박막에 비해 우수한 특성을...

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