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Al doped ZnO 박막 증착을 위한 모듈레이티드 펄스 스퍼터링
양원균, 주정훈, Yang. Won-Kyun, Joo. Jung-Hoon 한국표면공학회 한국표면공학회지 8 Pages
한국표면공학회 한국표면공학회지 2012, Vol.45 No.2 53-60 (8 pages)
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DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 대면적 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막제조 및 물리적 특성 연구
손영호, 최승훈, 박중진, 정명효, 허영준, 김인수, Son. Young Ho, Choi. Seung Hoon, Park. Joong Jin, Jung. Myoung Hyo, Hur. Youngjune, Kim. In Soo 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2013, Vol.22 No.3 119-125 (7 pages)
In-line magnetron sputtering system을 사용하여 대면적($60{ imes}60cm^2$) 소다라임 유리기판위에 투명전도성 ZnO(Al)와 ZnO(AlGa) 박막을 500 nm에서 1,450 nm까지 두께별로 증착하여 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. XRD를 통해 c-축 방향성(002)을 가지고 성장된 것을 확인 하였다. Hall 특성 분석을 통해 이동도 및 캐리어 농도의 특성을 확인 하였으며, 그에 따른 ZnO(AlGa)의 비저항이 $9.03{ imes}10^{-4}{Omega}{cdot}cm$에서 $7.83{ imes}10^{-4}{Omega}{cdot}cm$으로 ZnO(Al) 보다 높게 나타났으며, 가시광선 영역에서... -
투명전자소자를 위한 HfO2계 투명 MIM 커패시터 특성연구
조영제, 이지면, 곽준섭, Jo. Young-Je, Lee. Ji-Myon, Kwak. Joon-Seop 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.1 30-36 (7 pages)
투명 전자소자의 고유전 $HfO_2$ 절연막을 개발하기 위하여, ITO/$HfO_2$/ITO 금속-절연체-금속 (Metal-Insulator-Metal, MIM) 커패시터 구조를 형성한후 $HfO_2$ 박막의 두께에 따른 전기적, 광학적, 구조적 특성의 변화를 연구하였다. $HfO_2$ 박막의 두께가 50 nm에서 300 nm로 증가함에 따라 유전상수는 20에서 10이하로 감소하였으나, $HfO_2$ 두께가 증가함에 따라 누설전류는 감소하여 200 nm 이상의 두께에서는 $2.7{ imes}10^{-12};A/cm^2$ 이하의 낮은 누설전류 특성을 나타내었다. ITO/$HfO_2$/ITO MIM 커패시터의 $HfO_2$... -
마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 GZO 투명전도막의 전기적 및 광학적 특성
노임준, 김성현, 신백균, 이경일, 김선민, 조진우, No. Im-Jun, Kim. Sung-Hyun, Shin. Paik-Kyun, Lee. Kyung-Il, Kim. Sun-Min, Cho. Jin-Woo 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 6 Pages
한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會論文誌 2010, Vol.24 No.4 110-115 (6 pages)
본 논문에서는 rf 마그네트론 스퍼터링 기술을 이용하여 코닝 글라스 기판 위에 갈륨이 도핑된 산화아연(GZO)을 투명 전도막으로 제작하여 그 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. GZO 박막의 제작은 Zn : 97[wt%], $Ga_2O_3$ : 3[wt%]의 GZO 세라믹 타겟을 이용하였으며, 기판온도 및 산소압력과 같은 증착조건을 변화시키며 증착하였다. 본 연구에서 제작된 GZO 박막중 기판온도 200[$^{circ}C$], Ar 50[sccm], $O_2$ 5[sccm], rf power 80[W] 및 증착압력 5[mtorr]의 조건에서 제작된 박막에서 가시광 영역에서 90[%] 이상의 높은... -
기판온도 및 공정압력이 Aldoped ZnO 박막의 특성에 미치는 영향
강성준, 정양희, Kang. Seong-Jun, Joung. Yang-Hee 한국정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 8 Pages
한국정보통신학회 한국해양정보통신학회논문지 2010, Vol.14 No.3 691-698 (8 pages)
본 연구에서는 RF magnetron sputtering 법으로 AZO 세라믹 타켓 ($Al_2O_3$ : 3 wt%)을 이용하여 Eagle 2000 유리 기판위에 기판온도 ($100{sim}500^{circ}C$)와 공정압력 (10 ~ 40 mTorr)에 따른 AZO 박막을 제작하여, 결정화 특성과 전기적 및 광학적 특성을 조사하였다. 모든 AZO 박막은 육방정계구조를 가지는 다결정 이었고, (002)우선 배향성이 관찰되었다. 기판온도 $300^{circ}C$, 10 mTorr에서 제작한 AZO 막에서 가장 우수한 (002) 배향성을 나타냈으며, 이때의 반가폭 값은 $0.42^{circ}$였다. 전기적 특성은 기판온도... -
투명 사파이어 기판위에 성장시킨 Ga-doped ZnO 박막의 전기적·광학적 특성
정윤근, 정양희, 강성준, Chung. Yeun Gun, Joung. Yang Hee, Kang. Seong Jun 한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 6 Pages
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 2013, Vol.17 No.5 1213-1218 (6 pages)
본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링법으로 기판온도 변화에 따른 GZO 박막을 투명 사파이어 기판위에 제작하여, 박막의 전기적 광학적 특성 및 결정화 특성을 조사하였다. 전기적 특성을 조사한 결과, 기판온도 $300^{circ}C$에서 가장 낮은 $4.18{ imes}10^{-4}{Omega}cm$의 비저항을 나타내었고, 이때의 캐리어 농도는 $6.77{ imes}10^{20}cm^{-3}$, 홀 이동도는 $22cm^2/Vs$를 나타내었다. 또한 이 조건에서 가장 큰 c-축 배향성을 얻을 수 있었고, 그 때의 반가폭은 $0.34^{circ}$이었다. AFM 표면형상에서도 기판온도... -
유연성 기판 위에 증착된 ITO 박막의 공정 온도에 따른 전기적·광학적 특성 평가
최형진, 윤순길, Choi. Hyung-Jin, Yoon. Soon-Gil 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2013, Vol.26 No.5 397-400 (4 pages)
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펄스레이저증착법으로 증착한 Indium Zinc Oxide 박막의 물성
최학순, 정일교, 신문수, 김헌오, 김용수, Choi. Hak-Soon, Jeong. Il-Kyo, Shin. Mun-Soo, Kim. Heon-Oh, Kim. Yong-Soo 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2011, Vol.24 No.7 537-542 (6 pages)
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Atomic Layer Deposition으로 증착된 Al-doped ZnO Film의 전기적, 구조적 및 광학적 특성 분석
임정수, 정광석, 신홍식, 윤호진, 양승동, 김유미, 이희덕, 이가원, Lim. Jung-Soo, Jeong. Kwang-Seok, Shin. Hong-Sik, Yun. Ho-Jin, Yang. Seung-Dong, Kim. Yu-Mi, Lee. Hi-D 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 6 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2011, Vol.24 No.6 491-496 (6 pages)
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Off-axis RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 저온에서 결정화된 ITO 박막의 특성
최형진, 정현준, 허성기, 윤순길, Choi. Hyung-Jin, Jung. Hyun-June, Hur. Sung-Gi, Yoon. Soon-Gil 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 5 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2011, Vol.24 No.2 126-130 (5 pages)