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131.

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조

박기철, 김기범, Park. Gi-Cheol, Kim. Gi-Beom 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1995, Vol.5 No.1 87-95 (9 pages)

박기철, 김기범, Park. Gi-Cheol, Kim. Gi-Beom 저

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TiN는 약 10-15at.%의 산소를 함유하고 있었다. 갓 증착된 TiN와 충진처리된 TiN를 확산방지막으로 시험한 결과, 갓 증착된 TiN는 $650^{circ}C$, 1시간의 열처리 후에 Al 스파이크와 Si 패임자국의 형성으로 이해 파괴되었다. 하지만 충진처리된 TiN의 경우에는 같은 열처리 조건에서 Al 스파이크나 Si 패임자국을 전혀 찾아볼수 없었다. 따라서, TiN의 충진처리가 Al과 Si사이에서 확산 방지막 성능을 크게 향상시켜주는 효과가 있음을 알 수 있었다. 이와 같은 충진처리 효과는 TiN의 결정립계의 간격이 줄어듦에 의해서 빠른 확산...
132.

TiN에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(II)

이종무, 권난영, 이종길, Lee. Jong-Mu, Gwon. Nan-Yeong, Lee. Jong-Gil 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1993, Vol.3 No.6 593-597 (5 pages)

이종무, 권난영, 이종길, Lee. Jong-Mu, Gwon. Nan-Yeong, Lee. Jong-Gil 저

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Subhalfmicron ULSI의 컨택홀을 메꾸는 기술로 각광받고있는 전면도포(blanket W)법에서 부착특성고양층(glue layer)인 TiN막에대한 CVD-W의 부착특성을 조사하였다. 부착강도는 텅스텐막의 두께가 증가함에 따라 TiN막내의 응력의 감소로 인해 부착특성이 향상되었다. TiN막표면을 스퍼터 에칭하는 진처리를 실시할 경우 막표면의 불순물 제거, 표면 거칠기 증가등의 효과로 부착특성이 개선되었다. 또한 TiN막표면에 Ar이온 주입에 의한 손상을 줄 경우에도 TiN막 표면이 활성화되어 부착특성이 향상되었다.
133.

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무, 권난영, 손재현, 김형준, Lee. Jong-Mu, Gwon. Nan-Yeong, Son. Jae-Hyeon, Kim. Hyeong-Jun 한국재료학회 한국재료학회지 10 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1993, Vol.3 No.5 466-475 (10 pages)

이종무, 권난영, 손재현, 김형준, Lee. Jong-Mu, Gwon. Nan-Yeong, Son. Jae-Hyeon, Kim. Hyeong-Jun 저

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형성한 TiN막상에 바로 W막을 증착한 경우와 TiN막을 열처리한 후에 W막을 증착한 경우 간에 두 막간의 부착특성은 큰 차이를 보였다. 전자의 경우가 후자의 경우보다 부착특성이 더 우수한 것으로 나타났는데, 이것은 열처리하지 않은 TiN막이 열처리한 TiN막에 비해 표면이 더 거칠고, 응력수준이 더 낮으며, 열처리한 TiN막내에는 산소성분이 존재하는 반면, 열처리 하지 않은 TiN막내에는 산소성분이 거의 들어있지 않기 때문이다. 또한 TiN막 두께가 증가함에 따라 응력의 증가로 인하여 TiN막에 대한 W막의 부착강도가 저하되었다.
134.

플라즈마 화학증착된 TiN박막의 마모특성

인치범, 천성순, In. Chi-Beom, Cheon. Seong-Sun 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1993, Vol.3 No.5 451-458 (8 pages)

인치범, 천성순, In. Chi-Beom, Cheon. Seong-Sun 저

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베아링강(AISI S2100) 위에 TiCi4, N2,H2,그리고 Ar의 기체혼합계를 이용하여 플라즈마화학증착법으로 내마모 TiN증착층을 얻었다. 증착된 TiN층 내의 잔류 CI에 의한 결정성, 미소경도, 접착력, 그리고 마모특성에 대해 연구하였다. TiN 중착층은 좋은 내마모성을 가지고 있었으며, TiN의 기계적 특성은 잔류CI함량이 증가할때 나빠졌다. 마모측정결과 마모면의 trailing edge에 인장응력이 걸려 많은 crack이 관찰되엇다.
135.

TiN 기판상에서의 CVD텅스텐의 핵생성에 관한 연구

김의송, 이종무, 이종길, Kim. Eui-Song, Lee. Chong-Mu, Lee. Jong-Gil 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1992, Vol.2 No.2 110-118 (9 pages)

김의송, 이종무, 이종길, Kim. Eui-Song, Lee. Chong-Mu, Lee. Jong-Gil 저

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순서로 증가하는 경향을 나타낸다. Annealed TiN의 경우에는 열처리공정중 질소분위기내에 불순물로 존재하던 산소가 TiN막내로 들어가 TiN막의 조성이 TiO_{X}N_{Y}$로 바뀌기 때운에 그 위에서 W의 핵성성이 어려워지고, 증착속도도 낮아진 것이다. RTP-TiN의 미세한 결정립구조는 W의 핵성성과 성장에 유리한 효과를 미치지만, 그것의 높은 압축응력이 W의 핵생성과 성장에 미치는 불리한 효과가 더 크기 때문에, RTP-TiN 기판상에 W를 증착할 경우가 sputtered TiN 기판상에 W를 증착할 경우보다 증착속도가 더 낮고, 잠복기도 더 긴...
136.

STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF AL FIMS DEPOSITED ON TiN/Si SYBSTRATE BY METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

Kim. Kim. Byoung-Youp, Li. Li. Xiaodong, Rhee. Rhee. Shi-Woo 한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials 6 Pages

한국재료학회 Fabrication and Characterization of Advanced Materials 1995, Vol.2 No.4 645-650 (6 pages)

Kim. Kim. Byoung-Youp, Li. Li. Xiaodong, Rhee. Rhee. Shi-Woo 저

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137.

Effect of Tin Codoping on Transport and Magnetic Properties of Chromium-doped Indium Oxide Films

Kim. Hyo-Jin, Kim. Hyoun-Soo, Kim. Do-Jin, Ihm. Young-Eon, Choo. Woong-Kil, Hwang. Chan-Yong 한국자기학회 Journal of magnetics 4 Pages

한국자기학회 Journal of magnetics 2008, Vol.13 No.3 88-91 (4 pages)

Kim. Hyo-Jin, Kim. Hyoun-Soo, Kim. Do-Jin, Ihm. Young-Eon, Choo. Woong-Kil, Hwang. Chan-Yong 저

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138.

미끄럼반복마찰의 직접관찰에 의한 TiN피막의 허용응력에 관한 연구

문봉호, Moon. Bong-Ho 한국윤활학회 윤활학회지 9 Pages

한국윤활학회 윤활학회지 2011, Vol.27 No.3 147-155 (9 pages)

문봉호, Moon. Bong-Ho 저

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139.

Tin Sulphide Thin Films Formed by Sulphidising D.C. Magnetron Sputtered Layers of Tin Using $H_2S$

마크리치, 장동영, 로저 마일즈, Leach. M., Jang. D.Y., Miles. R. 한국윤활학회 윤활학회지 5 Pages

한국윤활학회 윤활학회지 2010, Vol.26 No.6 317-321 (5 pages)

마크리치, 장동영, 로저 마일즈, Leach. M., Jang. D.Y., Miles. R. 저

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황화주석 박막을 만들기 위해 마그네트론 스퍼터 박막증착 공정을 통해 몰리브텐 유리판위에 주석박막을 만들고, 95% 알곤 +5% 황화수소 가스 혼합물을 사용하여 아닐링 공정을 통해 황화주석 박막을 형성하위에 증착하는것이 좋은 결과를 보여주고있다. 박막면의 화학적 물리적 특성을 전자현미경, X선 분석, X 선회절을 통해 실험하였으며, 아닐링 조건에 따른황화주석 박막의 파장대 반사율의 관계를 측정하였다.
140.

CrN과 TiN 코팅을 적용한 증기 발생기 세관의 프레팅 마모에 대한 연구

이영제, 박정민, 정성훈, 김진선, 박세민, Lee. Young-Ze, Park. Jung-Min, Jeong. Sung-Hoon, Kim. Jin-Seon, Park. Se-Min 한국윤활학회 윤활학회지 5 Pages

한국윤활학회 윤활학회지 2008, Vol.24 No.5 250-254 (5 pages)

이영제, 박정민, 정성훈, 김진선, 박세민, Lee. Young-Ze, Park. Jung-Min, Jeong. Sung-Hoon, Kim. Jin-Seon, Park. Se-Min 저

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