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차세대 투명전극 소재의 종류와 특성
정문현, 김세열, 유도혁, 김중현, Chung. Moon Hyun, Kim. Seyul, Yoo. Dohyuk, Kim. Jung Hyun 한국공업화학회 공업화학 7 Pages
한국공업화학회 공업화학 2014, Vol.25 No.3 242-248 (7 pages)
벗어나 투명 유연하고 깨지지 않는 특성이 요구되고 있다. 이러한 부가적인 특성을 갖춘 기기들의 제조를 위해서는 전극의 투명성과 유연성을 동시에 갖고 있어야 하지만, 현재 가장 대표적으로 이용되는 투명전극인 ITO (Indium Tin Oxide)는 유연하지 못하다는 단점과 자원적인 한계를 갖고 있다. 이에 따라 ITO의 한계를 극복하기 위해 다양한 물질들을 이용한 대체 재료 개발이 활발히 연구되고 있으며 대체 물질들의 복합화를 통해 더 향상된 물성을 발현시키기 위한 연구가 진행되고 있다. 본 총설에서는 ITO의 한계를 극복하고... -
저온 E Beam 증착 공정으로 제조된 폴리에테르설폰 유연기판용 ITO 필름 특성 연구
류주민, 강호종, Rhew. Ju-Min, Kang. Ho-Jong 한국고분자학회 폴리머 8 Pages
한국고분자학회 폴리머 2012, Vol.36 No.3 393-400 (8 pages)
사용되는 폴리에테르설폰(PES) 필름 위에 E beam을 이용하여 저온 증착된 indium tin oxide(ITO) 박막 특성을 살펴보았다. 증착 시 기판 온도가 증가함에 따라 저온 열처리 과정에서 ITO 결정화가 잘 이루어져 면 저항의 감소와 투과도가 증가됨을 알 수 있었다. 증착 시 사용된 산소 가스는 ITO의 결정화를 촉진시켜 면 저항 감소와 투과도 증가에 도움을 줌을 확인하였다. PES 기판 표면 거칠기가 증가될수록 증착된 ITO의 결정화가 잘 이루어지지 않으며 이는 면 저항의 증가 및 투과도의 감소 요인으로 작용함을 알 수 있었다. -
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 PET 기판 위에 증착된 ITO 박막의 특성에 대한 산소 분압의 영향
김선태, 김태규, 조현, 김진곤, Kim. Seon Tae, Kim. Tae Gyu, Cho. Hyun, Kim. Jin Kon 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 4 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2014, Vol.24 No.6 252-255 (4 pages)
ITO(indium tin oxide) 박막을 RF 마그네트론 스퍼터링법에 의해 산소 분압을 0에서 $6{ imes}10^{-5}$ Pa로 변화시킨 조건 하에서 PET 기판 위에 증착하였고, 산소 분압에 따른 ITO 박막의 전기적, 광학적 특성과 결정성의 변화를 조사하였다. 산소 분압이 $1{ imes}10^{-5}$ Pa 이하에서는 증착된 ITO 박막은 비정질 구조를 가지는 반면에 $2{ imes}10^{-5}$ Pa 이상에서는 결정질임을 확인하였다. 이러한 구조적 변화와 더불어 전하 캐리어 농도와 비저항이 증가하였다. 산소 분압이 $4{ imes}10^{-5}$ Pa에서 최소 비저항($9.8{... -
Sol-gel 법에 의해 $SnO_2$계 박막위에 코팅된 $TiO_2$ 박막의 특성
임태영, 조혜미, 김진호, 황종희, 황혜진, Lim. Tae-Young, Cho. Hye-Mi, Kim. Jin-Ho, Hwang. Jong-Hee, Hwang. Hae-Jin 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 6 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 2009, Vol.19 No.5 256-261 (6 pages)
Oxide(ATO)코팅 유리, Fluorine Tin Oxide(FTO)코팅유리, Indium Tin Oxide(ITO)코팅유리 기판 위 에 Tween 80을 30 wt% 함유한 $TiO_2$ 용액을 적층하여 박막의 접촉각과 투과율을 측정하였다. 다양한 기판에 제조된 박막은 $16.2sim27.1^{circ}$의 표면 접촉각을 나타냈으며 자외선 조사 후에는 접촉각이 $13.2sim17.6^{circ}$로 낮아졌다. 특히 ATO코팅유리와 FTO 코팅유리 기판 위에 코팅된 필름은 가시광선 영역에서 각각 74.6%, 76.8%의 높은 투과율을 나타내었고, 적외선 영역에서는 각각 54.2%, 40.4%의 낮은 투과율을 나타냈다. -
Thermal Effect on Characteristics of IZTO Thin Films Deposited by Pulsed DC Magnetron Sputtering
Son. Dong-Jin, Ko. Yoon-Duk, Jung. Dong-Geun, Boo. Jin-Hyo, Choa. Sung-Hoon, Kim. Young-Sung 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 5 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2011, Vol.32 No.3 847-851 (5 pages)
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Hydrogenated In-doped ZnO Thin Films for the New Anode Material of Organic Light Emitting Devices: Synthesis and Application Test
Park. Young-Ran, Nam. Eun-Kyoung, Boo. Jin-Hyo, Jung. Dong-Geun, Suh. Su-Jeong, Kim. Young-Sung 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 5 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2007, Vol.28 No.12 2396-2400 (5 pages)
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Nd:$YVO_4$ 레이저 빔을 이용한 인듐 주석 산화물 직접 묘화 기술
김광호, 권상직, Kim. Kwang-Ho, Kwon. Sang-Jik 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 5 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 2008, Vol.45 No.11 8-12 (5 pages)
AC PDP에 사용되는 ITO 전극의 공정시간을 단축시키고 생산성을 향상시키기 위해서 Nd:$YVO_4$ laser를 사용하여 ITO 전극 패턴을 하였다. ITO etchant를 사용하여 ITO 전극패턴을 형성한 샘플과 비교해서 laser를 사용하여 제작한 샘플은 ITO 라인 끝 부분에 shoulder와 물결무늬가 형성되었다. shoulder와 물결무늬의 제거를 위해서 laser의 펄스반복율과 스캔 속도에 변화를 주었다. 또한 shoulder와 물결무늬를 갖는 ITO 전극이 PDP에 주는 영향을 알아보기 위해서 방전특성분석을 하였다. 실험결과 40 kHz와 500 mm/s를 기본... -
ITO 전극 형성 방법이 청색 발광 다이오드의 전기 광학적 특성에 미치는 영향
한재호, 김상배, 전동민, Han. Jae-Ho, Kim. Sang-Bae, Jeon. Dong-Min 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 8 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체 2007, Vol.44 No.11 43-50 (8 pages)
ITO(Indium Tin Oxide) 전극 형성방법은 ITO 박막 자체의 전기 광학적 특성 뿐 아니라 ITO를 전극으로 하는 청색 발광 다이오드(파장 469nm)의 전기 광학적 특성 및 신뢰성에도 큰 영향을 미침을 확인하였다. 세 가지 ITO 전극 형성 방법 즉 electron beam evaporation법과 sputtering법, 그리고 electron beam evaporation법으로 먼저 증착한 뒤에 sputtering법으로 증착한 hybrid법 등을 사용하여 청색 발광 다이오드를 제작한 다음에 ITO 박막의 특성과 aging에 따른 발광 다이오드의 전기 광학적 특성 변화를 고찰하였다. 그 결과,... -
저온 선택적 원자층 증착공정을 이용한 유기태양전지용 AZO 투명전극 제조에 관한 실험적 연구
김기철, 송근수, 김형태, 유경훈, 강정진, 황준영, 이상호, 강경태, 강희석, 조영준, Kim. Ki-Cheol, Song. Gen-Soo, Kim. Hyung-Tae, Yoo. Kyung-Hoon, Kang. Jeong-Jin, Hwang. Jun-Yo 대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 6 Pages
대한기계학회 大韓機械學會論文集. Transactions of the Korean society of mechanical engineers. B. B 2013, Vol.37 No.6 577-582 (6 pages)
Zinc Oxide)는 기존의 LCD, OLED, 광센서, 유기태양전지 등의 투명전극에 널리 사용되는 ITO(Indium Tin Oxide)를 대체하기 위한 물질로 주목받고 있다. 본 연구에서는 유기태양전지의 투명 전극으로 많이 사용되는 ITO 를 대체하기 위해 원자층 증착(ALD) 공정의 저온 선택적 증착 특성을 이용하여 유연성 폴리머인 PEN 기판상에 AZO 투명전극을 직접 패턴방식으로 제조하고, 그 투명전극의 구조적, 전기적, 광학적 특성을 평가하였다. 전기적, 광학적 특성 결과들로부터 원자층 증작공정의 저온 선택적 증착 특성을 통해 형성된 AZO... -
동시 스퍼터링으로 제조한 AZO-ITO 혼합박막의 증착 중 수소 혼입 영향 분석
김혜리, 김동호, 이성훈, 이건환, Kim. Hye-Ri, Kim. Dong-Ho, Lee. Sung-Hun, Lee. Gun-Hwan 한국표면공학회 한국표면공학회지 5 Pages
한국표면공학회 한국표면공학회지 2009, Vol.42 No.6 267-271 (5 pages)