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Spin-coating을 이용하여 Flexible Film에 제작된 ZnO TCO의 특성 분석
전민철, 이규탁, 박상욱, 이경주, 문병무, 조원주, 고중혁, Jun. Min-Chul, Lee. Ku-Tak, Park. Sang-Uk, Lee. Kyung-Ju, Moon. Byung-Moo, Cho. Won-Ju, Koh. Jung-Hyuk 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 4 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2012, Vol.25 No.4 290-293 (4 pages)
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Packing Density Parameters of Palladium Nanoparticle Monolayers Fabricated via Spin-Coating Electrostatic Self-Assembly
An. Minshi, Hong. Jong-Dal, Cho. Kyung-Sang, Lee. Eun-Sung, Choi. Jae-Young 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2008, Vol.29 No.3 623-626 (4 pages)
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Spin-coating법에 의한 $TiO_2$의 광촉매 효율
김범준, 변동진, 이중기, 박달근, Kim. Beom-Jun, Byeon. Dong-Jin, Lee. Jung-Gi, Park. Dal-Geun 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2000, Vol.10 No.4 264-269 (6 pages)
$TiO_2$sol(30wt%, anatase)을 이용하여 스핀코팅으로 유리기판에 $TiO_2$박막을 제조하였다. 박막의 두께는 코팅주기의 횟수가 조절하였다. 한 코팅주기는 스핀코팅, 건조, 열처리를 포함한다. 박막의 반응성은 막 위에서의 자외선강도가 0.44와 2.mW/$ extrm{cm}^2$인 조건에서 벤젠기체의 광분해 속도를 통해 조사하였다. 박막의 두께가 증가할수록 표면적으로 증가로 인해 반응성은 증가하였으며, 0.44mW/$ extrm{cm}^2$일 때 4$mu extrm{m}$정도 이상의 두께에서 반응성은 더 이상 증가되지 않았다. porous한 $TiO_2$박막은 비교적... -
Spin-coating 공정에 의해 제조된 음극 지지형 고체산화물 연료전지
유지행, 이희락, 우상국, Yu. Ji-Haeng, Lee. Hee-Lak, Woo. Sang-Kuk 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2007, Vol.44 No.12 733-739 (7 pages)
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반도체 나노 패터닝 구현 재료: Spin 코팅 Hardmask용 유기실리콘 및 고탄소 물질
조현모, 전환승, 김상균, 장두원, 김종섭, Cho. Hyeon-Mo, Cheon. Hwan-Sung, Kim. Sang-Kyun, Chang. Tu-Won, Kim. Jong-Seob 한국고분자학회 고분자 과학과 기술 9 Pages
한국고분자학회 고분자 과학과 기술 2009, Vol.20 No.5 472-480 (9 pages)
반도체 미세화가 진행되면서, 이를 성공하기 위해 많은 재료물질이 요구되어진다. 이 중 미세 패턴의 붕괴를 막고 깊은 패턴을 새기기 위해서 필요한 hardmask 재료가 있다. Hardmask는 유기실리콘 재료와 탄소 함량이 높은 재료로 주로 구성되고, 이들은 193 nm 빛과 관련된 광학적 특성을 가지면서 특정 플라즈마에 대한 에치 저항성을 가지는 물성을 가지도록 디자인/합성/배합되어져 있다. 또한, 접합되는 다른 박막과의 compatibility및 용매에 대한 solubility 등이 적절해야만 나노미터 수준의 defect 없는 패턴을 구현할 수 있다. -
Indium Sulfide and Indium Oxide Thin Films Spin-Coated from Triethylammonium Indium Thioacetate Precursor for n-Channel Thin Film Transistor
Dao. Tung Duy, Jeong. Hyun-Dam 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 4 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2014, Vol.35 No.11 3299-3302 (4 pages)