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Spin-coating 법으로 Nb-doped SrTiO$_3$(100) 기판위에 제조한 Pb(Zr, Ti)O$_3$ 박막의 에피탁시와 표면 미세구조에 미치는 열처리온도의 영향
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  • Spin-coating 법으로 Nb-doped SrTiO$_3$(100) 기판위에 제조한 Pb(Zr, Ti)O$_3$ 박막의 에피탁시와 표면 미세구조에 미치는 열처리온도의 영향
저자명
이경무,황규석,김병훈
간행물명
요업학회지
권/호정보
1998년|35권 8호|pp.791-794 (4 pages)
발행정보
한국세라믹학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 (Pb:Zr:Ti=1:0.52:0.48) thin films have been grown on Nb-doped SrTiO3(100) substrates by spin-coating technigue using metal naphthenates as starting m0) aterials,. Highly oriented films with homogeneous and smooth surfaces were obtained by heat-treatment at 75$0^{circ}C$ and X-ray diffraction pole-figure analysis ($eta$ scanning) showing that these films had an epitaxial relationship with substrates used. With increasing the heat-treatment temperature up to 80$0^{circ}C$ the films exhibited distinct polycrystalline grains while crystallinity and epitaxy in the films tended to decrease after annealing at 85$0^{circ}C$