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Synthesis, Characterization, and Properties of Fully Aliphatic Polyimides and Their Derivatives for Microelectronics and Optoelectronics Applications
Mathews. Anu Stella, Kim. Il, Ha. Chang-Sik 한국고분자학회 Macromolecular research 15 Pages
한국고분자학회 Macromolecular research 2007, Vol.15 No.2 114-128 (15 pages)
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폴리이미드 박막을 이용한 투 칩 집적화 습도 센서
민남기, 김수원, 홍석인 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 10 Pages
대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D 1998, No.0 77-86 (10 pages)
본 논문에서는 정전용량형 센서 칩과 CMOS 인터페이스 칩으로 구성된 투 칩 집적화 습도 센서를 개발하였다. (100) 실리콘 기판위에 폴리이미드 박막을 이용해서 제작된 습도 센서 칩은 넓은 습도 및 온도 범위에 걸쳐 우수한 직선성(0.72%FS), 낮은 히스테리시스(<3%), 작은 온도계수(-0.0285∼-0.0542 pF/K)를 나타내었다. 40℃/90%RH에서 9주동안 방치한 후 측정된 정전용량은 약 2∼3% 변하였다. 신호처리 회로는 1.2-㎛, one poly double metal CMOS 공정으로 제작하였다. 측정된 센서 출력 전압은 상대습도에 비례해서...