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321.

Au-Si을 촉매로 급속화학기상증착법으로 성장한 Si 나노선의 구조 및 광학적 특성 연구

곽동욱, 이연환, Kwak. D.W., Lee. Y.H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.4 279-285 (7 pages)

곽동욱, 이연환, Kwak. D.W., Lee. Y.H. 저

이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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$H_2$의 혼합가스를 공급하여 Si 나노선을 형성하였다. <111> 방향으로 형성한 Si 나노선의 형태를 전계방출 주사전자현미경(Field Emission Scanning Electron Microscope)으로 관찰하였다. 특히, 대부분의 나노선이 균일한 크기를 가지고 있으며, Si(111) 기판 표면에서 수직하게 정렬된 것을 확인하였다. 형성된 나노선의 크기를 분석한 결과, 직경과 길이가 각각 60nm와 5um의 분포를 가지는 것을 확인 하였다. 고 분해능 투과전자현미경(High Resolution-Transmission Electron Microscope)을 통해 약 3nm의 다결정 산화층으로...
322.

Hot-filament 화학기상 증착법에 의한 탄소나노튜브의 성장 및 표면 특성

최은창, 김정태, 박용섭, 최원석, 홍병유, Choi. Eun-Chang, Kim. Jung-Tae, Park. Yong-Seob, Choi. Won-Seok, Hong. Byung-You 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.3 187-191 (5 pages)

최은창, 김정태, 박용섭, 최원석, 홍병유, Choi. Eun-Chang, Kim. Jung-Tae, Park. Yong-Seob, Choi. Won-Seok, Hong. Byung-You 저

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연구에서는 실리콘 웨이퍼 위에 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 Ni 촉매 층을 증착시키고, $NH_3$와 $C_2H_2$ gas를 이용하여 탄소나노튜브를 성장시켰다. Hot-filament 플라즈마 화학기상 증착법으로 탄소나노튜브의 성장 온도는 350, 450, 550, $650^{circ}C$로 변화시켰으며, 성장되어진 탄소나노튜브는 field emission scanning electron microscope(FESEM) 분석을 하여 관찰하였고, 접촉각 측정법을 이용하여 탄소나노튜브 층의 특성을 분석하였다. 결과적으로 성장 온도는 탄소나노튜브의 성장 특성을 변화시키는 중요한...
323.

탐침형 정보 저장장치에 응용 가능한 강유전체 물질의 특성 연구

최진식, 김진수, 황인록, 변익수, 김수홍, 전상호, 이진호, 홍사환, 박배호, Choi. J.S., Kim. J.S., Hwang. I.R., Byun. I.S., Kim. S.H., Jeon. S.H., Lee. J.H., Hong. S.H., Park. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.2 173-179 (7 pages)

최진식, 김진수, 황인록, 변익수, 김수홍, 전상호, 이진호, 홍사환, 박배호, Choi. J.S., Kim. J.S., Hwang. I.R., Byun. I.S., Kim. S.H., Jeon. S.H., Lee. J.H., Hong. S.H., Park. 저

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기판위에 동일한 조건으로 증착된 $LaMnO_3$ (LMO) 산화물을 하부 전극으로 하여 증착시간을 변화시키며 증착하였다. High-resolution x-ray diffraction 결과를 통해 LMO 하부 전극과 PZT 박막이 방향성 있게 자란 것을 확인할 수 있었고 박막의 두께는 field-emission scanning electron microscope을 통하여 측정할 수 있었다. 또한 우리는 atomic force microscopy을 이용하여 박막의 표면 거칠기를 구하였고 국소적인 범위의 전기적 특성은 piezoelectric force microscopy 모드를 이용하여 측정하였다. 그 결과 PZT/LMO 구조는 나노...
324.

초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작과 에피성장된 ZnSe/GaAs(001)의 광학특성

김은도, 손영호, 엄기석, 조성진, 황도원, Kim. Eun-Do, Son. Young-Ho, Eom. Gi-Seog, Cho. Seong-Jin, Hwang. Do-Weon 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.5 458-464 (7 pages)

김은도, 손영호, 엄기석, 조성진, 황도원, Kim. Eun-Do, Son. Young-Ho, Eom. Gi-Seog, Cho. Seong-Jin, Hwang. Do-Weon 저

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에피성장 (MBE; molecular beam epitaxy) 시스템의 제작과 성능연구가 성공적으로 이루어졌다. 초고진공 용 분자선 에피성장 시스템을 국산화개발 및 제작하여, 장비에 관한 성능 테스트를 하게 되었다. 본 장비의 진공도가 $2X10^{10}$ Torr에 도달함을 확인하였고, 시편 가열모듈(substrate heating module)이 $1,100^{circ}C$까지 가열됨을 확인할 수 있었으며, ZnSe/GaAs(001)의 증착특성을 SEM (scanning electron microscope), AFM (atomic force microscope), XRD (x-ray diffraction), PL (photoluminescence) 등으로 조사하였다.
325.

솔더볼 조성에 의한 피로강도의 영향

김경수, 김진영 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages

한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.3 127-131 (5 pages)

김경수, 김진영 저

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공정조성 솔더 63Sn/37Pb, 62Sn/36Pb/2Ag, 63Sn/34.4Pb/2Ag/0.5Sb 솔더를 이용하여 제조된 시편을 MRT Lv3 (moisture resistance test level) 조건에서 전처리 후 T/C(temperature cycle test) 실험을 수행하였다. 각각의 신뢰성 시험에 대하여 전단강도를 측정하였으며, 미세 조직 사진을 얻었다. 또한, SEM (scanning electron microscope)과 EDX (energy dispersive X-ray)를 이용하여 파괴 기구에 대한 분석을 실시하였다. Sn63Pb34.5Ag2Sb0.5 솔더에서 Au-Sn 성장비는 63Sn/37Pb, 62Sn/36Pb/2Ag 솔더에 비해 느리다 솔더 조성에...
326.

뇌 임펄스를 이용한 현수애자의 내부결함 검출

송일근, 곽희로 한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會誌 8 Pages

한국조명전기설비학회 照明·電氣設備學會誌 1995, Vol.9 No.6 83-90 (8 pages)

송일근, 곽희로 저

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자기체 현수애자 내부의 미세한 결함에 의한 관통사고 원인과 예방책을 제시하고자 PD(Partial Discharge)실험에 사용된 자기체 현수애자의 전계강도를 분석하였고, 상용주파 유중파괴 시험과 급준파 전압시험을 비교, 시험하였다. 이중 시료는 SEM(Scanning Electron Microscope)을 사용해서 단면촬영과 소재의 특성을 분석하였으며, 이종 물질간의 열팽창계수 차이로 인한 사고 진전 가능성이 큰 자기부와 금구류의 접착제로 사용하고 있는 포틀랜드 시멘트에 대하여 오토클래브 팽창도를 시험하였고, 사고 예방을 위한 내부결함...
327.

A study on the fine structure of marine diatoms in Korean coastal waters: Genus Thalassiosira 5

Park. Joon-Sang, Lee. Jin-Hwan 한국조류학회(藻類) Algae 11 Pages

한국조류학회(藻類) Algae 2010, Vol.25 No.3 121-131 (11 pages)

Park. Joon-Sang, Lee. Jin-Hwan 저

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328.

전자빔 몬테 카를로 시물레이션 프로그램 개발 및 전자현미경 이미징 특성 분석

김흥배, Kim. Heung-Bae 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 9 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2012, Vol.29 No.5 554-562 (9 pages)

김흥배, Kim. Heung-Bae 저

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329.

유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석

박근, 이재진, 박만진, 김동환, 장동영, Park. Keun, Lee. Jae-Jin, Park. Man-Jin, Kim. Dong-Hwan, Jang. Dong-Young 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2009, Vol.26 No.11 92-98 (7 pages)

박근, 이재진, 박만진, 김동환, 장동영, Park. Keun, Lee. Jae-Jin, Park. Man-Jin, Kim. Dong-Hwan, Jang. Dong-Young 저

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330.

주사전자현미경용 전자검출기의 설계 및 제작

전종업, 김지원, Jeon. Jong-Up, Kim. Ji-Won 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages

한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2008, Vol.25 No.4 53-60 (8 pages)

전종업, 김지원, Jeon. Jong-Up, Kim. Ji-Won 저

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