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InAs/GaSb 응력초격자를 이용한 적외선검출소자의 제작 및 특성 연구
김준오, 신현욱, 최정우, 이상준, 김창수, 노삼규, Kim. J.O., Shin. H.W., Choe. J.W., Lee. S.J., Kim. C.S., Noh. S.K. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 8 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.2 108-115 (8 pages)
150 주기의 InAs/GaSb (8/8-ML) 제2형 응력초격자 (SLS)를 활성층에 탑재한 초격자 적외선검출소자 (SLIP) 구조를 MBE 방법으로 성장하고, 직경 $200{mu}m$의 개구면을 가지는 SLIP 개별소자를 시험 제작하였다 고분해능 투과전자현미경 (TEM) 이미지의 휘도분포와 X선회절 (XRD) 곡선의 위성피크의 분석 결과는 SLS 활성층은 균일한 층두께와 주기적 응력변형을 유지하는 급격한 계면의 초격자임을 입증하였다. 흑체복사 적외선 광원을 이용하여 측정한 입사파장 및 인가전압에 따른 반응도 (R)와 검출률 ($D^*$)로부터, 차단파장은... -
수열합성 법으로 성장된 산화 아연 나노로드의 전구체 농도에 따른 구조적, 광학적 특성 연구
류혁현, Ryu. H. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.1 73-78 (6 pages)
그 위에 산화 아연 나노로드를 수열합성법을 이용하여 성장시켰다. 그리고 산화아연 나노로드 성장 시 0.02몰${sim}$0.5몰의 다양한 농도의 전구체를 사용함으로써 그에 따라 변화되는 산화 아연 나노로드의 배열상태, 구조적, 그리고 광학적 특성 평가를 실시하였다. 특성 평가는 FE-SEM(field emission scanning electron microscopy), XRD(X-ray diffraction), 그리고 PL(photoluminescence) 등의 분석 방법들을 통해 이루어졌다 본 연구를 통하여 전구체의 농도가 증가할수록 나노로드의 직경과 길이가 길어지며 0.3몰의 농도에서... -
MgO 증착률에 따른 PDP 보호막 물성 및 방전 특성 분석
김용재, 권상직, Kim. Yong-Jae, Kwon. Sang-Jik 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2007, Vol.16 No.3 181-186 (6 pages)
XRD (X-ray Diffraction), AFM (Atomic Force Microscopy), Mono-CL (Mono Cathode Luminescence analysis)등을 이용하여 측정하였고, 방전 특성으로는 방전개시전압과 방전 전류, 휘도를 진공 챔버와 오실로스코프 (TDS 540C), 전류 프로브 (TCP 312A), 휘도 색차계 (CS-100A)를 이용하여 측정하였다. 실험 결과 $5{AA}/sec$의 증착률이 최적의 증착률임을 확인하였고, 또한 MgO의 증착률에 따라서 MgO 보호막의 물성특성이 변화하고 이에 의해서 전기적 광학적 특징이 영향을 받는 것을 확인하였다. 즉, 증착률 $5{AA}/sec$을 기준으로... -
초고진공 분자선 에피성장 시스템의 제작과 에피성장된 ZnSe/GaAs(001)의 광학특성
김은도, 손영호, 엄기석, 조성진, 황도원, Kim. Eun-Do, Son. Young-Ho, Eom. Gi-Seog, Cho. Seong-Jin, Hwang. Do-Weon 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2006, Vol.15 No.5 458-464 (7 pages)
에피성장 (MBE; molecular beam epitaxy) 시스템의 제작과 성능연구가 성공적으로 이루어졌다. 초고진공 용 분자선 에피성장 시스템을 국산화개발 및 제작하여, 장비에 관한 성능 테스트를 하게 되었다. 본 장비의 진공도가 $2X10^{10}$ Torr에 도달함을 확인하였고, 시편 가열모듈(substrate heating module)이 $1,100^{circ}C$까지 가열됨을 확인할 수 있었으며, ZnSe/GaAs(001)의 증착특성을 SEM (scanning electron microscope), AFM (atomic force microscope), XRD (x-ray diffraction), PL (photoluminescence) 등으로 조사하였다. -
열처리에 따른 Cu 전해도금막의 미세구조 및 물리적성질 변화
권덕렬, 박현아, 김충모, 이종무 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.2 72-78 (7 pages)
RTA(rapid themal annealing) 방법으로 열처리하였다. Cu seed 막 위에 전해도금법으로 형성한 Cu 막을 열처리했을 때 미세구조와 물리적 특성변화를 XRD(x-ray diffraction), EBSD(electron back-scattered diffraction), AFM(atomic force microscopy) 분석을 이용하여 조사하였다. $400^{circ}C$보다 높은 온도에서 재결정이 일어났으며, 열처리 온도를 증가함에 따라 Cu막의 비저항이 감소하고 (111) 우선배향성이 증가하는 경향을 나타냈다. 최소의 비저항과 부드러운 표면 및 (111) 배향성이 뛰어난 Cu막을 얻기 위한 최적의 열처리... -
기판에 따른 BST 박막의 전기적 특성에 관한 연구
이태일, 최명률, 박인철, 김홍배 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2002, Vol.11 No.3 135-140 (6 pages)
산소분위기로 1분간 고온 급속 열처리를 하였다. 증착된 BST박막의 결정화를 조사하기 위해 XRD(X-Ray Diffraction)측정을 한 결과 모든 기판에서 (110) $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$(의 주피크가 관찰되어졌고, 열처리 후 재결정화에 기인하여 피크 세기가 증가함을 관찰할 수 있었다. Al 전극을 이용한 커패시터 제작 후 측정한 C-V(Capacitance-Voltage) 특성에서 각각의 기판에서 측정된 커패시턴스 값으로 계산된 유전율은 120(bare Si), 305(Mgo/Si) 그리고 310(MgO)이었다. 누설 전류 특성에서는 0.3 MV/cm이내의 인가전계에서 1 $mu... -
핵/껍질 구조를 가진 두 종류의 자기 나노입자의 제조와 특성비교
고영재, 손인호, 김영국, 동성용, 이근진, 박규섭 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2001, Vol.10 No.1 87-92 (6 pages)
두 종류의 초미세 입자들의 특성과 자기적 성질들을 XRD(X-ray Diffraction), Mossbauer 분광, XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy), TEM(transmission Electron Microscopy), EDS(Energy Disperse Spectroscopy), 화학적 분석, 산소량 측정과 자기 측정 등을 통하여 체계적으로 조사하였다. 메탄기체로부터 분해되어 나온 탄소원소가 미세입자들의 상구조, 자기적 상태 그리고 표면 특성들에 끼치는 효과를 아르곤원소를 사용했을 때와 비교하였다. 두 미세입자에서의 Fe/Co 질량비가 약간 다르게 나타났으며 Fe-Co나노입자의 크기가... -
알칼리금속이 흡착된 Si(111)$7 imes7$ 계의 초기 산화 과정 연구
황찬국, 안기석, 김정선, 박래준, 이득진, 장현덕, 박종윤, 이순보 한국진공학회 韓國眞空學會誌 6 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1997, Vol.6 No.2 159-164 (6 pages)
(x-ray photoelectron spectroscopy: SPS)과 반사 고에너지 전 자 회절법(reflection high energy electron diffraction: RHEED)을 이용하여 상온과 고온(약 300~$500^{circ}C$)에서 알칼리금속(AM)/Si(111)7$ imes$7표면에 1 monolayer(ML)의 AM을 흡착시키면 Si(111)7$ imes$7표면에 비해 산소의 초기 부착 계수(initial sticking coefficient)와 산소의 포화량 은 증가하지 않았다. Si(111)7$ imes$7-AM표면에 산소의 주입량을 증가시키면서 측정한 O ls 스 펙트럼으로부터 AM이 흡착된 Si(111)7$ imes$7표면에 흡착되는 산소원자는... -
Si(111)$7{ imes}7$ 표면에서 Mg 성장양상 연구
안기석, 여환욱, 이경원, 이순보, 조용국, 박종윤 한국진공학회 韓國眞空學會誌 5 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 1993, Vol.2 No.4 399-403 (5 pages)
imes$ 7 위에 Mg를 흡착시켜 표면구조의 변화를 RHEED(Reflection High Energy Electron diffraction) 와 XPS(X-ray PhotoelectronSpectroscopy)를 이용하여 연구하였다. RT ~20$0^{circ}C$까지의 기판온도에서 증착량의 증가에 따라 표면구조는 (7$ imes$7)에서 diffused (1$ imes$1) 그리고 (2 3 3 $ imes$2√3√3-R30$^{circ}$) 구조로 변화하였다. 또한, 기판온도를 증가시킴에 따라 (1$ imes$1), three domain(3$ imes$1) 등의 구조를 볼 수 있었고, 특히 , $450^{circ}C$의 기판온도에서는 single domain (3$ imes$1) 구조를 최초로... -
Bacteria를 이용한 실트와 모래의 고결화에 따른 탄산칼슘 확인
박경호, 김대현, Park. Kyung-Ho, Kim. Dae-Hyeon 한국지반공학회 韓國地盤工學會論文集 9 Pages
한국지반공학회 韓國地盤工學會論文集 2012, Vol.28 No.6 53-61 (9 pages)
본 연구의 목적은 연약지반에 대한 미생물의 고결화 메커니즘을 확인하기 위함이다. 연약지반에 대한 미생물의 고결화 메커니즘을 확인하기 위해서 6가지 미생물 조건(무처리, 일반농도처리, 고농도처리, 상층액처리, 2X 고농도처리, 25% 시료 고농도처리)으로 실험되어졌다. 전자현미경(SEM, EDX)과 X선 분석 회절기(XRD)를 이용하여 실트질시료와 느슨한 모래시료의 분석을 수행하였으며, 일반농도처리 시료에 비교하여 25% 시료 고농도처리 시료에서 입자와 입자 사이에 탄산칼슘이 더욱 명확히 관찰되어졌다. 이러한 연구결과를...