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451.

다층 도포된 $ extrm{PbZr}_{0.53} extrm{Ti}_{0.47} extrm{O}_{3}$ sol-gel 박막내의 응력 거동

박상면, Park. Sang-Myeon 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1999, Vol.9 No.11 1069-1074 (6 pages)

박상면, Park. Sang-Myeon 저

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연구에서는 PbZr(sub)0.53Ti(sub)0.47O$_3$(PZT) 박막을 복수 도포함에 따른 박막내의 응력을 온도의 함수로 실시간(in situ) 측정하였으며, 응력발생의 원인에 박막의 건조, 열분해(pyrolysis), 치밀화 및 결정화 현상과 연관시켜 설명하였다. 도포직후 단층박막에 생성된 55MPa의 인장응력은 가열됨에 따라$ 300^{circ}C$-$350^{circ}C$에서 최대 145MPa로 증가하였으며, 박막내의 응력은 모든 온도구간에서 항상 인장응력을 나타내었더. 다층도포시 $650^{circ}C$까지 열처리 주기를 완료한 층이 두꺼워질수록 새로 도포한 층의 영향은...
452.

RF-magnetron Sputtering Process를 이용한 a-축 우선 배향된 PLZT(x/0/100)박막의 제조

박명식, 강승국, 노광수, 김동범, 조상, Park. Myeong-Sik, Gang. Seung-Guk, No. Gwang-Su, Kim. Dong-Beom, Jo. Sang 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.6 522-528 (7 pages)

박명식, 강승국, 노광수, 김동범, 조상, Park. Myeong-Sik, Gang. Seung-Guk, No. Gwang-Su, Kim. Dong-Beom, Jo. Sang 저

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Pt/Ti/Si(100)기판위에 lanthanum-modified lead titanate 박막을 제작하였다. 기판온도와 증착시간이 증가함에 따라 증착율은 감소하였다. 기판온도가 증가함에 따라 fine grain들은 large grain으로 변화하였다. Perovskite구조는 기판온도 54$0^{circ}C$, gas pressure 30mtorr에서 나타나기 시작하였다. 본 실험에서 perovskite 박막제작에 대한 조건은 기판온도 58$0^{circ}C$, gas pressure 30mtorr였다. Pt/Ti/Si(100) 우선 배향된 박막을 얻었다. La양이 증가함에 따라 유전율, 항전계, 잔류분극량은 증가하였다. 중심주파수가...
453.

기계적합금화한 Al-Ti 합금의 고온 인장 특성에 미치는 Ce의 첨가와 등온열처리의영향

김준기, 오영민, 김용덕, 김병철, 김선진, Kim. Jun-Gi, O. Yeong-Min, Kim. Yong-Deok, Kim. Byeong-Cheol, Kim. Seon-Jin 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.5 444-450 (7 pages)

김준기, 오영민, 김용덕, 김병철, 김선진, Kim. Jun-Gi, O. Yeong-Min, Kim. Yong-Deok, Kim. Byeong-Cheol, Kim. Seon-Jin 저

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감소시켰다. 이는 Ce이 적은 고용도 효과에 의해 금속간화합물의 초대화를 억제하여 합금의 강도를 증가시키지만 다량 첨가시에는 Ti에 비해 무거운 원자량으로 인해 분산상의 부피분율을 감소시켜 합금의 강도가 오히려 저하시킨 것으로 생각된다. Ce의 첨가는 40$0^{circ}C$와 51$0^{circ}C$에서 합금의 열저안정성을 향상시키는 것으로 나타났다. 300-51$0^{circ}C$ 온도범위에서 측정된 AI-8wt.%(Ti+Ce)합금의 변형에 필요한 활성화에너지는 AI의 자기확산에 필요한 에너지 (142kJ/mode)의 1.3-1.9배로 나타났다. 이로부터 AI-Ti-Ce...
454.

ZnO휘발이 0.535$ extrm{CaTiO}_3$-0.465La($ extrm{Zn}_{1/2} extrm{Ti}_{1/2}$)$ extrm{O}_3$계의 고주파 유전 특성에 미치는 영향

임욱, 김경용, 김병호, Im. Uk, Kim. Gyeong-Yong, Kim. Byeong-Ho 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.4 354-360 (7 pages)

임욱, 김경용, 김병호, Im. Uk, Kim. Gyeong-Yong, Kim. Byeong-Ho 저

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페르브스카이트 구조를 갖는 CaTiO$_{3}$-La(Zn$_{1}$2/Ti$_{1}$2)O$_{3}$계에서 소결 온도와 소결 시간의 증가에 따른 ZnO의 휘발과 이에 따른 고주파 유전 특성에 대하여 조사하였다. 시편 내부를 WDS 분석한 결과 위치에 따른 ZnO의 농도차를 관찰할 수 있었고, 시편의 두께를 달리하여 Qxf$_{o}$ 값을 조사한 결과 ZnO가 많이 휘발된 가장자리에서 더 높은 Qxf$_{o}$ 값을 얻을 수 있었다. 0.535CaTiO$_{3}$-0. 465La(Zn$_{1}$2/Ti$_{1}$2/)O$_{3}$몰비로 155$0^{circ}C$, 2시간동안 합성한 결과 소결 밀도 5.31g/㎤, 유전율 50,...
455.

$ extrm{Fe}_{80-x} extrm{P}_{10} extrm{C}_{6} extrm{B}_{4} extrm{M}_{x}$(M=Transition Metal) 비정질합금의 열적안정성

국진선, 전우용, 진영철, 김상협, Guk. Jin-Seon, Jeon. U-Yong, Jin. Yeong-Cheol, Kim. Sang-Hyeop 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1997, Vol.7 No.3 218-223 (6 pages)

국진선, 전우용, 진영철, 김상협, Guk. Jin-Seon, Jeon. U-Yong, Jin. Yeong-Cheol, Kim. Sang-Hyeop 저

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과냉각액체구역(${Delta}T_{x}=T_{x}-T_{g}$)을 갖는 $Fe_{80}P_{10}C_{6}B_{4}$ 조성에 천이금속(Ti, Zr, Hf, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Mn, Co, Ni, Pd, Pt및 Cu)를 첨가하여 이들 원소가 유리화온도($T_{g}$), 결정화온도($T_{x}$) 및 과냉액체구역 (${Delta}T_{x}$)에 미치는 영향에 ulcorner여 조사하였다. $Fe_{80}P_{10}C_{6}B_{4}$ 합금의 ${Delta}T_{x}$ 값은 27K였으나 이 합금에 Hf, Ta 및 Mo을 각각 4at%첨가하면 그 값이 40k 이상으로 증가하였다. 이같은 ${Delta}T_{x}$ 값의 증가는 유리화온도($T_{g}$의 상승보다...
456.

기계적합금화한 AI-Ti합금의 고온인장특성에 미치는 Zr의 첨가와 등온열처리의 영향

김용덕, 원형민, 김선진, Kim. Yong-Deok, Won. Hyeong-Min, Kim. Seon-Jin 한국재료학회 한국재료학회지 10 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.11 1136-1145 (10 pages)

김용덕, 원형민, 김선진, Kim. Yong-Deok, Won. Hyeong-Min, Kim. Seon-Jin 저

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및 변형거동에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. Ti에 대한 Zr 첨가량의 비가 증가함에 따라 열간압출 시편의 상온 및 고온강도가 증가하였고, 40$0^{circ}C$ 및 51$0^{circ}C$에서 등온열처리에 따른 강도의 감소도 작게 나타났다. 이는 Zr 첨가량이 증가함에 따라 AI 기지와 AI3Ti에 비해 작은 격자간불일치도를 갖는 AI3(Ti+Zr)금속간화합물이 생성되고 고온열처리에 따른 조대화가 억제되었기 때문으로 판단되었다. 합금의 연성은 Zr 첨가량과 등온열처리에 관계없이 10% 이하로 낮게 나타났으며 인장 시험 온도가 고온일수록...
457.

(Pb, La)$TiO_3$계를 이용한 적외선 센서용 초전박막의 연구

장지근, 김민영, 이상열, 장호정, Jang. Ji-Geun, Kim. Min-Yeong, Lee. Sang-Yeol, Jang. Ho-Jeong 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.8 825-832 (8 pages)

장지근, 김민영, 이상열, 장호정, Jang. Ji-Geun, Kim. Min-Yeong, Lee. Sang-Yeol, Jang. Ho-Jeong 저

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Pt/Ti/SiO2/Si와 Pt/Mulcorner의 하부 구조상에 50$0^{circ}C$, 55$0^{circ}C$ 및 $600^{circ}C$에서 스퍼터링 증착하여 결정성 및 전기적 특성을 조사하였다. $600^{circ}C$로 in-situ 성장된 PLT박막은 Si기판을 이용한 경우 randomly oriented perovskite 결정구조를 나타내었으며, Pt/MgO 구조위에서는 c-축(00ι)방향으로 배향 성장되었다. $600^{circ}C$에서 in-situ 성장된 PLT박막의 비유전상수($varepsilon$r)와 유전정접(tan $delta$)을 10kHz-100kHz의 주파수에서 측정한 결과 Pt/Ti/SiO2/Si 구조상에 증착된...
458.

Co/Ti/Si 계에서 고상반응에 의한 Cobalt Silicide 형성기구 고찰

이승헌, 배준철, 신동원, 박찬경, Lee. Seung-Heon, Bae. Jun-Cheol, Sin. Dong-Won, Park. Chan-Gyeong 한국재료학회 한국재료학회지 9 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.8 808-816 (9 pages)

이승헌, 배준철, 신동원, 박찬경, Lee. Seung-Heon, Bae. Jun-Cheol, Sin. Dong-Won, Park. Chan-Gyeong 저

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빔 증착법을 이용하여$ 90AA$두께의 Ti과 $120AA$두께의 Co를 순차적으로 증착시켰다. 그 후 질소분위기하의 $350-900^{circ}C$온도구간에서 급속열처리함으로써 (100) Si 기판위의 Co/Ti 이중 박막의 실리사이드화 반응이 일어나게 했으며 이를 XRD, AES, TEM을 이용하여 분석하였다. $500^{circ}C$이하의 온도에서는 Co원자들이 Ti층쪽으로 빠르게 확산하여 Si와 반응하기 이전에 Ti원자들과 상호 혼합되어 어떠한 실리사이드도 형성되지 않았다. $500^{circ}C$에서 열처리된 시편의 고분해능전자현미경 영상을 통해 Co-Ti 혼합층과...
459.

Co 단일막과 Co/Ti 이중막을 이용한 Co-실리사이드의 형성 연구

장지근, 엄우용, 장호정, 홍성수, 송진태, Jang. Ji-Geun, Eom. U-Yong, Jang. Ho-Jeong, Hong. Seong-Su, Song. Jin-Tae 한국재료학회 한국재료학회지 8 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.7 692-699 (8 pages)

장지근, 엄우용, 장호정, 홍성수, 송진태, Jang. Ji-Geun, Eom. U-Yong, Jang. Ho-Jeong, Hong. Seong-Su, Song. Jin-Tae 저

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Ti 이중막($200AA$/ $(50-100)AA$)을 성장시켰다. 시편의 RTA 과정에서는 N2분위기에서 direct annealing 방식으로 열처리 온도와 시간을 변화시켜가며 Co-silicidation 공정을 수행하였다. Co 단일막으로 형성된 Co-실리사이드의 면저항은 $500^{circ}Cleq$T$leq$$850^{circ}C$범위에서 열처리 온도와 시간의 변화에 관계없이 거의 일정한 값을 나타내었다. Co/Ti 이중막의 경우 Co-실리사이드의 형성온도가 Co 단일막의 경우에 비해 높게 나타나고 낮은 비저항의 CoSi2를 얻기 위해서는 $800^{circ}C$이상의 온도로 열처리해야 함을 알...
460.

졸-겔법으로 제조한 $BaTiO_3$에서(111)쌍정의 생성거동

유영성, 김영정, 김환, Yu. Yeong-Seong, Kim. Yeong-Jeong, Kim. Hwan 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages

한국재료학회 한국재료학회지 1996, Vol.6 No.2 175-181 (7 pages)

유영성, 김영정, 김환, Yu. Yeong-Seong, Kim. Yeong-Jeong, Kim. Hwan 저

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Ti(i-OC3H7)와 Ba(OH)2.8H2Or 그리고 공통용매로서 2-Methoxy Ethanol을 이용하여 균일 용액을 제조하고, 이로부터 미세하고 조성비가 균일한 BaTiO3분말을 제조하였다. 이러한 졸-겔법으로 제조된 분말을 TG-DTA와 XRD 분석으로 결정화 및 상변화를 관찰하였다. 각 온도별로 하소된 분말에서 (111)쌍정의 생성여부를 TEM을 이용해 관찰한 결과, 합성된 BaTiO3 분말에서는 하소중(111)쌍정의 생성이 활발히 일어나지 않는 것으로 판단되었다. 특히(111) 쌍정판은 합성된 겔을 120$0^{circ}C$에서 하소한 후 이를 140$0^{circ}C$에서...

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