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레이저 미세가공 기술을 이용한 초소형 전자빔 장치용 정전장 전자렌즈의 제작
안승준, 김대욱, 김호섭, 김영정, 이용산, Ahn. Seung-Jun, Kim. Dae-Wook, Kim. Ho-Seop, Kim. Yeong-Jeong, Lee. Yong-San 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2001, Vol.11 No.9 792-796 (5 pages)
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Powder Blasting을 이용한 도광판의 Micro-Pattern 가공기술
박동삼, 성은제, 한진용, 유우식, Park. D.S, Seong. E.J., Han. J.Y., Yoo. W.S. 한국소성가공학회 소성가공 6 Pages
한국소성가공학회 소성가공 2006, Vol.15 No.9 686-691 (6 pages)
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마이크로머시닝 기술과 MEMS 광스위치 응용
한국소성가공학회 소성가공 2002, Vol.11 No.2 103-107 (5 pages)
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자성유체의 자기적 거동특성을 이용한 광 스위치에 관한 연구
최범규, 오재근, 김도형, 송관민, Choi. Bum-Kyoo, Oh. Jae-Geun, Kim. Do-Hyung, Song. Kwan-Min 한국센서학회 센서학회지 6 Pages
한국센서학회 센서학회지 2005, Vol.14 No.1 16-21 (6 pages)
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개방형 우물 구조를 이용한 마이크로머신형 pH 센서
김흥락, 김영덕, 정우철, 김광일, 김동수, Kim. Heung-Rak, Kim. Young-Deog, Jeong. Woo-Cheol, Kim. Kwang-Il, Kim. Dong-Su 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 7 Pages
한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 2002, Vol.22 No.4 347-353 (7 pages)
수용액에 포함된 수소이온$(H^+)$의 농도를 측정하는 유리 전극형 수소이용 농도(pH) 센서의 기본 구조를 bulk micromachining 기술로 구현하여 소형의 pH 센서를 제작하였다. 박막 증착이 가능한 경사 식각으로 개방된 2개의 기본 구조물을 형성하고, 일정 전위를 유지하기 위한 기준전극은 식각된 구조물 경사면에 박막형 Ag/AgCl으로 확보하였다. $H^+$과 교환 반응으로 전위를 발생시키는 감응부는 Na이 20%이상 포함된 glass로 $100{mu}m$ 내외로 미세 연마하여 기본 구조물에 접합하여 완성하였다. 또한 외부 용액과 기준 용액의 혼... -
레이저를 이용한 웨이퍼 다이싱 특성
이용현, 최경진, 유승열, Lee. Young-Hyun, Choi. Kyung-Jin, Yoo. Seung-Ryeol 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체및디스플레이장비학회지 6 Pages
한국반도체및디스플레이장비학회 반도체및디스플레이장비학회지 2006, Vol.5 No.3 5-10 (6 pages)
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이동 로봇의 수직 운동 감지를 위한 초소형 MEMS Z축 가속도계
이상민, 조동일, Lee. Sang-Min, Cho. Dong-Il Dan 한국로봇학회 로봇학회논문지 6 Pages
한국로봇학회 로봇학회논문지 2007, Vol.2 No.3 249-254 (6 pages)
단차의 형성을 가능케 하는 확장된 희생 몸체 미세 가공 기술 (Extended Sacrificial Bulk Micromachining, ESBM) 을 이용하여 제작되었다. 확장된 희생 몸체 미세 가공 기술을 이용하면 정렬오차가 없이 상하부 양쪽에 수직 단차를 갖는 실리콘 구조물의 제작이 가능하다. 또한, MEMS 센싱 엘리먼트의 부유된 실리콘 구조물을 보호하기 위하여 웨이퍼 레벨 밀봉 실장 기술이 적용하여 고신뢰성, 고수율, 고성능의 Z축 가속도 센서를 제작하였다. 신호 처리 회로와 가속도 센서를 결합하여 Z축 가속도 센싱 시스템을 제작하였고 운동가...