발행기관
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간행물
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- 우리말연구(9)
- 전기전자재료학회논문지(8)
- 한국진공학회지(8)
- 한국열환경공학회 학술대회지(6)
- 전기학회논문지= THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS(5)
- NEWSLETTER 전기공업(4)
- 열환경공학(4)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. B, 전기기기 및 에너지변환시스템부문(4)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. P(3)
- 한국재료학회지(3)
- CARBON LETTERS(2)
- 대한수의학회 학술대회발표집(2)
- 전기공업(2)
- 한국결정성장학회지(2)
- 한국환경과학회지(2)
- JOURNAL OF ELECTRICAL ENGINEERING & TECHNOLOGY(1)
- JOURNAL OF ENVIRONMENTAL SCIENCE INTERNATIONAL(1)
- JOURNAL OF INTERNATIONAL COUNCIL ON ELECTRICAL ENGINEERING(1)
- KIEE INTERNATIONAL TRANSACTIONS ON ELECTROPHYSICS AND APPLICATIONS(1)
- TRANSACTIONS ON ELECTRICAL AND ELECTRONIC MATERIALS(1)
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- 전기산업(1)
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- 전기전자재료(1)
- 전기학회논문지. THE TRANSACTIONS OF THE KOREAN INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS. C/ C, 전기물성-응용부문(1)
- 전기학회지= THE PROCESSING OF THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS(1)
- 전자공학회논문지. JOURNAL OF THE KOREAN INSTITUTE OF TELEMATICS AND ELECTRONICS. D(1)
- 정보처리학회논문지. THE KIPS TRANSACTIONS. PART A. PART A(1)
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Numerical Study of SF6 arc with Copper Contamination
Liau. Vui-Kien, Lee. Byeong-Yoon, Song. Ki-Dong, Park. Kyong-Yop 대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 9 Pages
대한전기학회 KIEE international transactions on electrophysics and applications 2005, No.0 233-241 (9 pages)
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A Study on Dielectric Strength and Insulation Property of SF6/N2 Mixtures for GIS
Woo. Su-Youl, Jeong. Dong-Hoon, Seo. Kyoung-Bo, Kim. Jin-Ho 대한전기학회 Journal of international council on electrical engineering 6 Pages
대한전기학회 Journal of international council on electrical engineering 2012, Vol.2 No.1 104-109 (6 pages)
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수소첨가에 의한 육불화황(SF6) 분해효율 향상 기초연구
류재용, 김종범, 최창용, 장성호, 이상준, Ryu. Jae-Yong, Kim. Jong-Bum, Choi. Chang-Yong, Jang. Seong-Ho, Lee. Sang-Joon 한국환경과학회 한국환경과학회지 7 Pages
한국환경과학회 한국환경과학회지 2012, Vol.21 No.9 1163-1169 (7 pages)
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O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 Polycarbonate와 PMMA의 건식 식각
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이제원, Joo. Y.W., Park. Y.H., Noh. H.S., Kim. J.K., Lee. J.W. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2009, Vol.18 No.2 85-91 (7 pages)
현재 플렉시블 폴리머를 이용한 MEMS (Microelectromechanical Systems) 기술이 빠르게 발전하고 있다. 그 중에서 Polycarbonate (PC), Poly Methyl Methacrylate (PMMA)와 같은 플렉시블 폴리머 재료는 광학적 특성이 우수하고 인체 친화적이며 미세 패턴 제조 공정이 용이하다는 등의 많은 장점을 가지고 있다. 본 연구는 반응성 이온 식각 기술을 이용하여 $O_2$, $SF_6$ 그리고 $CH_4$의 삼성분계 가스의 혼합 비율에 따른 PC와 PMMA의 건식 식각 결과 및 특성 평가에 관한 것이다. 준비한 각각의 기판에 포토리소그래피 방법으로... -
O2/SF6, O2/N2와 O2/CH4 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트 건식 식각
주영우, 박연현, 노호섭, 김재권, 이성현, 조관식, 송한정, 전민현, 이제원, Joo. Y.W., Park. Y.H., Noh. H.S., Kim. J.K., Lee. S.H., Cho. G.S., Song. H.J., Jeon. M.H., Lee. J.W. 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2008, Vol.17 No.1 16-22 (7 pages)
[ $O_2/SF_6$ ], $O_2/N_2$ 그리고 $O_2/CH_4$의 혼합 가스를 이용하여 폴리카보네이트의 플라즈마 식각을 연구하였다. 플라즈마 식각 장비는 축전 결합형 플라즈마 시스템을 사용하였다. 폴리카보네이트 식각은 감광제 도포 후에 UV 조사의 포토리소그래피 방법으로 마스크를 제작하여 실험하였다. 본 식각 실험에서는 $O_2$와 다른 기체와의 혼합비와 RIE 척 파워 증가에 따른 폴리카보네이트의 식각 특성 연구를 중심으로 하였다. 특히 건식 식각 시에 사용한 공정 압력은 100 mTorr로 유지하였으며 공정 압력은 기계적 펌프만을... -
고밀도 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구
유승열, 류현우, 임완태, 이제원, 조관식, 전민현, 송한정, 이봉주, 고종수, 고정상, Yoo. Seungryul, Ryu. Hyunwoo, Lim. Wantae, Lee. Jewon, Cho. Guan Sik, Jeon. Minhyon, Song. Han 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2005, Vol.15 No.3 161-165 (5 pages)
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고이온화에너지를 이용한 육불화황 (SF6) 분해가능성 연구
류재용, 김종범, 최창용, 이상준, 곽희성, 윤영민, Ryu. Jae-Yong, Kim. Jong-Bum, Choi. Chang-Yong, Lee. Sang-Joon, Kwak. Hee-Sung, Yun. Young-Min 한국대기환경학회 한국대기환경학회지 8 Pages
한국대기환경학회 한국대기환경학회지 2012, Vol.28 No.4 446-453 (8 pages)
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가공배선용 부하개폐기(SF6형) Bushing개발
한국전기산업진흥회, . Korea Electrical Manufacturers Association 한국전기산업진흥회 電機工業 6 Pages
한국전기산업진흥회 電機工業 1994, Vol.5 No.3 68-73 (6 pages)


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