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GaOOH 선구체의 스핀코팅에 의한 GaN 박막의 성장
이재범, 김선태, Lee. Jae-Bum, Kim. Seon-Tai 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2007, Vol.17 No.1 1-5 (5 pages)
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PZT/LSMO/Pt에 대한 펄스레이저 및 졸겔법에 의한 증착연구
최강룡, 심인보, 김철성, Choi. Kang-Ryong, Shim. In-Bo, Kim. Chul-Sung 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 4 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2005, Vol.15 No.1 21-24 (4 pages)
타겟을 이용하여 248nm의 파장을 갖는 KrF 엑시머 레이저를 사용한 PLD법으로 박막으 제작하고, 강유전체 물질인 $PbZr_{0.52}Ti_{0.48}O_{3}$ 물질을 spin coating 방법으로 제조하였다. Pt 기관(111)위에 125 mtorr의 산소분압으로 증착한 rhombohedral 구조를 갖는 LSMO 박막을 증착하고 그 위에 PZT 물질을 증착한 결과 LSMO, PZT en 물질 모두 단일상으로 [111]방향으로서의 성장하였음을 알 수 있었다. AFM(atomic force micrscope) data 및 SEM(scanning electron microscope) data를 바탕으로 매우 균질한 박막을 얻었음을 알 수... -
스핀 코팅에서의 액막의 흐름
김태성, Kim. Tae-sung 한국액체미립화학회 한국액체미립화학회지 9 Pages
한국액체미립화학회 한국액체미립화학회지 2013, Vol.18 No.3 146-154 (9 pages)
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Ti-naphthenate를 이용하여 제조한 광감응성 TiO2 박막의 광학적 및 구조적 특성
임용무, 정주현, 황규석, Lim. Yong-Moo, Jung. Ju-Hyun, Hwang. Kyu-Seog 한국안광학회 한국안광학회지 7 Pages
한국안광학회 한국안광학회지 2005, Vol.10 No.3 185-191 (7 pages)
Ti-naphthenate를 출발물질로 사용하여 스핀코팅으로 soda-lime-silica 유리에 $TiO_2$ 박막을 제조하였다. $500^{circ}C$에서 $600^{circ}C$의 열처리온도에 따라 제조된 악악의 광학적, 구조적 및 광촉매 특성을 측정하였다. 재조된 $TiO_2$박막의 투과율은 가시광선 영역에서 약 80%정도의 평균투과율을 보였고, 열처리 온도가 높아짐에 따라 흡수밴드가 낮은 UV 파장영역으로 편향하였으며, 전체 광투과율은 소폭 감소하는 경향을 나타냈다. $TiO_2$ 박막의 열처리 온도가 높아짐에 따라 굴절률은 2.16에서 2.63으로 증가하였고,... -
UV노광 공정 도입이 Sol-gel 법으로 제조된 Sr0.9Bi2.1Ta2O9박막의 결정화에 미치는 영향
최병옥, 김병호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 7 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.2 184-190 (7 pages)
광감응성 sol-gel 용액을 사용하여 spin coating법으로 $IrO_2$전극 위에 $Sr_{0.9}$$Bi_{2.1}$$Ta_2$$O_{9}$ 박막을 성막하였다. UV 노광이 SBT 박막에 어떤 영향을 미치는지 알아보기 위해 UV 노광을 한 시편과 하지 않은 시편을 XRD 및 SEM로 분석한 결과 UV 노광이 SBT 결정성장을 촉진함을 확인할 수 있었다. UV 노광을 하고 $740^{circ}C$ 산소분위기에서 1시간 로열처리 한 SBT 박막의 경우 2Pr 값은 5V 인가전압하에서 11.48$mu$C/$ extrm{cm}^2$, Pr/Ps 값은 0.53이었고 660-$740^{circ}C$에서 UV 노광을 하지 않은 시편에 비해... -
Self-patterning 기술을 이용한 강유전체 메모리 전극용La0.5Sr0.5CoO3박막의 제조에 관한 연구
손현수, 김병호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 6 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2003, Vol.40 No.2 153-158 (6 pages)
장점을 가지고 있다. 이 연구에서는 강유전성 메모리소자의 산화물 전극재료로 사용되고 있는 La$_{0.5}$Sr$_{0.5}$CoO$_3$(LSCO)극 photosensitive sol solution을 이용하여 spin coating법으로 제조하였으며 출발원료는 La-2methoxyethoxide, Sr-ethoxide, Co-2methoxyethoxide를 사용하였다. LSCO gel 박막에 UV 노광시간을 증가시킴에 따라 M(metal)-O-M 결합이 생성되면서 metal $eta$-diketonate의 UV 흡수 피크 강도는 감소되었고 LSCO gel 박막에 UV조사에 따른 용해도 차이가 생기면서 fine patterning 을 얻을 수 있었다.... -
Sol-gel Self-patterning 기술을 이용한 광감응성 Sr0.9Bi2.1Ta2O9 박막의 제조기술에 관한 연구
양기호, 박태호, 임태영, 오근호, 김병호, Yang. Ki-Ho, Park. Tae-Ho, Lim. Tae-Young, Auh. Keon-Ho, Kim. Byong-Ho 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 8 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.8 750-757 (8 pages)
연구에서는 photosensitive sol solution을 이용하여 spin coating법에 의해 $Sr_{0.9}Bi_{2.1}Ta_2O_9$의 조성을 갖는 강유전체 박막을 제조하였으며 출발원료는 $Sr(OC_2H_5)_2,;Bi(TMHD)_3$와 $Ta(OC_2H_5)_5$를 사용하였다. SBT 박막에 UV 노광시간을 증가시킴에 따라 M-O-M 결합이 생성되면서 metal ${eta}$-diketonate의 UV 흡수 피크 강도는 감소되었고 SBT 박막에 UV 조사에 따른 용해도 차이가 생기면서 fine patterning을 얻을 수 있었다. 또한 UV가 조사된 SBT 박막의 강유전 특성이 UV가 조사되지 않은 것보다 우수하였다. -
졸-겔 코팅에 의한 저온형 고체산화물 연료저지용 전해질막의 합성 및 특성
현상훈, 김승구, 장운석 한국세라믹학회 요업학회지 12 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.4 391-402 (12 pages)
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동결건조에 의한 극저유전성 실리카 에어로겔 박막 합성공정 개발
현상훈, 김태영 한국세라믹학회 요업학회지 12 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1999, Vol.36 No.3 307-318 (12 pages)
동결건조법에 의한 저유전성 실리카 박막의 제조공정 개발 및 층간 절연물질로의 응용성이 연구되었다. 코팅용 폴리머 실리카 졸은 TEOS와 이소프로판올(iso-propanol:IPA)또는 터트부탄올(tert-butanol:TBA)을 용매로한 2단계 공정에 의하여 제조되었으며, 이들 졸을 p-Si(111)웨이퍼 상에 스핀코팅한 습윤겔 박막을 동결건조 하여 다공성 실리카 박막을 제조하였다. 균일한 박막 코팅층을 얻을 수 있는 실리카 졸의 최적 점도범위는 IPA와 TBA를 용매로 한 실리카 졸의 경우 각각 10~14 cP와 20~30cP 정도였으며 스핀속도는 2000 rpm...