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트렌치 표면에서의 RIE 식각 손상 회복
이주욱, 김상기, 배윤규, 구진근 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2004, Vol.13 No.3 120-126 (7 pages)
트렌치 소자 제조시 게이트 산화막 성장과 내압 강하의 원인이 되는 식각손상 회복과 코너 영역의 구조를 개선하기 위해 수소 분위기 열처리를 하였다. 열처리시 수소 원자에 의한 환원 반응을 이용하여 표면 에너지가 높은 코너 영역에서는 원자들의 이동에 의한 결정면 재배열, 산화막 측벽에서의 실리콘 원자 적층, 표면 거칠기의 개선 효과 등을 전자현미경 관찰을 통해 확인하였다. 실리콘 원자의 이동을 방해하는 식각 후 잔류 산화막을 수소 가스의 환원성 분위기에서 열처리함으로써 표면 에너지를 낮추는 방향으로 원자의 이동이... -
지표면 스펙트럼 강도를 통한 지반의 액상화 평가에 대한 연구
한국지반공학회 韓國地盤工學會誌 1998, Vol.14 No.2 9-20 (12 pages)
지진에 의한 지반의 액상화 현상으로 인하여 지하에 매설된 생활관거가 파괴될 가능성은 대단히 높다. 만일 지진이 발생하는 즉시 지반의 액상화 가능성을 판단할 수 있다면 관거가 파괴됨으로 인한 피해를 최소한으로 감소시킬 수 있다. 액상화 현상이 지반에 발생하는 동시에 이를 판별하기 위해서는 지표에서 진동의 이력을 측정함과 동시에 해석함으로써 가능하다. 본 논문에 서는 지표에서 측정된 가속도 기록을 통하여 지반의 액상화 가능성과 액상화된 지반의 두께를 평가하는 방법을 제시하고자 한다. 이를 위하여 실제로 측정된... -
Experimental Study on Ultrasonic Use in Dry Creep-Feed Up-Grinding of Aluminum 7075 and Steel X210Cr12
Abdullah. Amir, Sotoodezadeh. Mohammad, Abedini. Rezvan, Fartashvand. Vahid 한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 8 Pages
한국정밀공학회 International journal of precision engineering and manufacturing 2013, Vol.14 No.2 191-198 (8 pages)
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기계적 손상에 의한 실리콘 웨이퍼의 반송자 수명과 표면 거칠기와의 관계
최치영, 조상희 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 8 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 1999, Vol.12 No.1 27-34 (8 pages)
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반복변형된 Cu 및 Cu-Al 단결정 표면형상의 나노-스케일 관찰
한국윤활학회 윤활학회지 2000, Vol.16 No.5 389-394 (6 pages)
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누수가 발생한 정수기의 위험요소 발굴 및 소손패턴 해석에 관한 연구
최충석, Choi. Chung-Seog 한국안전학회 한국안전학회지 6 Pages
한국안전학회 한국안전학회지 2012, Vol.27 No.3 57-62 (6 pages)
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필라멘트 와인딩 복합재 압력용기의 충격저항성에 미치는 표면 고무 보호재료의 영향
강기원, 김용수, 이미애, 최린, Kang. Ki-Weon, Kim. Young-Soo, Lee. Mee-Hae, Choi. Rin 한국안전학회 한국안전학회지 6 Pages
한국안전학회 한국안전학회지 2005, Vol.20 No.4 14-19 (6 pages)
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마모특성 및 유한요소해석을 이용한 프레스금형 손상 간접예측
전용준, 김세호, 윤국태, 허영무, 이태길, Jeon. Y.J., Kim. S.H., Yoon. K.T., Heo. Y.M., Lee. T.G. 한국소성가공학회 소성가공 6 Pages
한국소성가공학회 소성가공 2014, Vol.23 No.1 29-34 (6 pages)
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유도결합 플라즈마 조건에 따른 Nylon/spandex 혼방섬유의 표면손상 및 실리콘 오일 제거 영향
정탁, 신중욱, 지영연, 김상식, Jeong. Tak, Sin. Jung-Uk, Ji. Young-Yeon, Kim. Sang-Sik 한국섬유공학회 韓國纖維工學會誌 9 Pages
한국섬유공학회 韓國纖維工學會誌 2006, Vol.43 No.5 263-271 (9 pages)