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Air 분위기로 제작한 Ti:$LiNbO_3$ 도파로 특성 및 폴리싱 방법제안
김성구, 윤형도, 윤대원, 한상필, 박계춘, 유용택 한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 10 Pages
한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1997, Vol.10 No.7 682-691 (10 pages)
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Zn-Vapor확산에 의한 Ti:LiTaO$_{3}$ 광도파로의 굴절률 증가에 관한 연구
정홍식, 정영식 한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 6 Pages
한국전기전자재료학회 電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 1996, Vol.9 No.3 298-303 (6 pages)
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광도파로 제작을 위한 단결정 LiNbO3 건식 식각 특성
박우정, 양우석, 이한영, 윤대호, Park. Woo-Jung, Yang. Woo-Seok, Lee. Han-Young, Yoon. Dae-Ho 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 5 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2005, Vol.42 No.4 232-236 (5 pages)
$LiNbO_{3}$ optical waveguide 구조를 neutral loop discharge plasma 방법으로 식각시 As과 $C\_{3}F_{8}$가 혼합된 가스 유량에 따른 식각속도와 표면조도 값의 특성을 관찰하였다. 식각 후 식각속도와 식각단면은 scanning electron microscopy로 비교 분석하였으며, 표면조도는 atomic force microscopy로 측정하였다. Ar과 $C_{3}F_{8}$가 혼합된 가스 유량비를 각각 0.1-0.5로 증가시킴에 따라 식각속도와 표면조도는 0.2에서 가장 높게 나타났으며, bias power를 증가함에 따라 300W에서 가장 우수한 식각속도와 가장 평탄한 표면... -
실리카 광도파로의 Core층인 Silicon Oxynitride후박의 굴절률 제어
김용탁, 조성민, 윤석규, 서용곤, 임영민, 윤대호 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 4 Pages
한국세라믹학회 한국세라믹학회지 2002, Vol.39 No.6 594-597 (4 pages)
플라즈마 화학기상증착(PECVD)법을 이용하여 p-type Si(100) 웨이퍼에 Silicon Oxynitride(SiON) 후막을 SiH$_4$ , $N_2$O, $N_2$ 가스를 혼합하여 증착하였다. Prism coupler측정을 통해 SiON 후막의 굴절률 1.4620~1.5312을 얻었으며, rf power가 180 W에서 5.92$mu$m/h의 증착률을 나타내었다. 증착변수에 따른 화학적 조성의 영향은 X-ray Photoelectron Spectroscopy(XPS) 을 통하여 관찰하였다. 또한, SiON 후막 증착후에 $1.5mu$m 부근의 흡수띠를 제거하기 위해 105$0^{circ}C$의 $N_2$ 분위기에서 2시간 동안 열처리를... -
Laser Direct Writing 방법을 이용한 광도파로 제작
강희신, 서정, 이제훈, 김정오, Kang. H. S., Suh. J., Lee. J. H., Kim. J. O. 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 10 Pages
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 2005, Vol.8 No.1 9-18 (10 pages)
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대형 립 폴리머 광도파로 브래그 격자를 이용한 두 파장 레이저
성치훈, 김준휘, 신진수, 오민철, Sung. Chi-Hun, Kim. Jun-Whee, Shin. Jin-Soo, Oh. Min-Cheol 한국광학회 한국광학회지 6 Pages
한국광학회 한국광학회지 2014, Vol.25 No.1 38-43 (6 pages)
두 파장 레이저를 구현하기 위해서 폴리머 광도파로 브래그 격자와 초발광 LED로 구성된 외부 공진 구조의 레이저를 제작하였다. 대형 립(oversized rib) 구조의 광도파로와 폴리머 광도파로 브래그 격자는 각각 유효굴절률법과 전송행렬법을 이용하여 설계하였으며, 서로 다른 격자 주기를 가지는 폴리머 광도파로 브래그 격자는 이중 노광 레이저 간섭법을 이용하여 제작하였다. 브래그 격자의 반사율 변화에 따른 외부 공진 레이저의 특성을 보기 위해 2 mm의 고정된 길이를 가지며 537 nm의 주기를 갖는 브래그 격자와 0.5 mm에서 6... -
근거리 광연결용 미러 내장형 연성 광도파로 필름
안종배, 이우진, 황성환, 김계원, 김명진, 정은주, 노병섭, An. Jong-Bae, Lee. Woo-Jin, Hwang. Sung-Hwan, Kim. Gye-Won, Kim. Myoung-Jin, Jung. Eun-Joo, Rho. Byung-Sup 한국광학회 한국광학회지 5 Pages
한국광학회 한국광학회지 2012, Vol.23 No.1 12-16 (5 pages)
본 논문에서는 연성 광 인쇄회로기판(printed circuit board, PCB) 개발을 위한 핵심 부품인 연성 광도파로를 자외선 임프린트(ultra violet imprint, UV-imprint) 공정에 의해 제작하고 도파손실, 굴곡손실, 반사손실 및 반복굴곡에 대한 내구성을 측정하였다. 먼저, 초정밀 기계가공에 의해 광도파로 패턴과 $45^{circ}$ 미러 구조를 포함하는 니켈 마스터를 제작 후 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane, PDMS)를 이용하여 탄성체 몰드를 역상 복제 하였다. 역상 복제된 PDMS 몰드를 이용해 UV-imprint 공정에 의한 광도파로의... -
폴리머 광도파로 브래그 격자 기반의 근적외선 레이저
김경조, 손남선, 김준휘, 오민철, Kim. Kyung-Jo, Son. Nam-Seon, Kim. Jun-Whee, Oh. Min-Cheol 한국광학회 한국광학회지 5 Pages
한국광학회 한국광학회지 2011, Vol.22 No.4 179-183 (5 pages)
근적외선 대역에서 동작 가능한 가변파장레이저 구현을 위하여 브래그 격자와 반도체 광증폭기로 구성된 외부 공진기 형태의 레이저를 제작하였다. 폴리머 광도파로는 굴절률이 1.462, 1.435 인 ZPU 폴리머를 이용하여 제작되었다. 근적외선 파장에서 반사를 일으키는 브래그 격자의 제작을 위해서는 주기가 875 nm 로서 비교적 크고 제작이 손쉬운 3차 브래그 격자를 이용하였다. 폴리머 광도파로 브래그 반사기를 이용하여 제작된 근적외선 외부공진 레이저는 850 nm 파장에서 0 dBm의 출력 파워와 0.2 nm의 20-dB bandwidth, 40 dB...