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층 밀리 간섭계를 이용한 고체침지렌즈의 광학적 성능 평가
이진의, 김완진, 최현, 김태섭, 윤용중, 박노철, 박영필, Lee. Jin-Eui, Kim. Wan-Chin, Choi. Hyun, Kim. Tae-Seob, Yoon. Yong-Joong, Park. No-Cheol, Park. Young-Pil 정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 6 Pages
정보저장시스템학회 정보저장시스템학회논문집 2006, Vol.2 No.4 224-229 (6 pages)
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고경사 자유곡면 측정을 위한 파장변조 층밀리기 간섭계
이혁교, 김영식, 이주형, 양호순, 이윤우, Rhee. Hyug-Gyo, Ghim. Young-Sik, Lee. Joohyong, Yang. Ho-Soon, Lee. Yun Woo 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2014, Vol.31 No.3 199-205 (7 pages)
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비구면 광학부품의 수차 측정 및 성능 평가를 위해 특별 설계된 층밀리기 간섭계를 소개하고, 이와 더불어 층밀리기 간섭계가 갖는 자체의 계통오차를 측정결과로부터 제거하기 위한 보정 방법을 제안한다. 층밀리기 간섭계의 계통오차는 크게 간섭광학계가 갖는 광학오차와 간섭계의 기구부의 불완전에 기인한 층밀리기 방향의 직교오차로 구분할 수 있다. 이들 두 계통 오차들은 모두 본 논문에서 제안하는 방법으로 모두 보정될 수 있다. 보정 방법은 측정 대상물을 간섭계의 광축을 중심으로 회전하여 측정결과로부터 계통오차를...