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PVD/PACVD 코팅의 적용사례
김종성, 정용태, Gim. Jong-Seong, Jeong. Yong-Tae 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 13 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2007, Vol.24 No.5 22-34 (13 pages)
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PVD/PACVD 코팅의 종류와 특성
김종성, 정용태, Gim. Jong-Seong, Jeong. Yong-Tae 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2007, Vol.24 No.5 14-21 (8 pages)
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PVD/PACVD 코팅 개론
김종성, 정용태, Gim. Jong-Seong, Jeong. Yong-Tae 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 7 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2007, Vol.24 No.5 7-13 (7 pages)
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PACVD 방법으로 TiN 코팅시 공정변수가 작은 동공 내부의 코팅층 형성에 미치는 영향
김덕재, 조영래, 백종문, 곽종구, Kim. Deok-Jae, Jo. Yeong-Rae, Baek. Jong-Mun, Gwak. Jong-Gu 한국재료학회 한국재료학회지 7 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 2001, Vol.11 No.6 441-447 (7 pages)
PACVD 방법으로 다이캐스팅용 금형에 적용할 수 있는 TiN 코팅막을 형성시키는 연구를 하였다. 직류 펄스전원을 사용하여 지름이 4 mm인 작은 동공내부에 최고 20 mm 깊이까지 균일한 TiN 코팅층을 형성할 수 있었다. 코팅공정시 발광분광분석기를 사용해 Ti와 $N_{2}$ 및 $Ar^{+}$의 분광선을 측정함으로써 TiN 코팅막의 형성기구에 대하여 고찰하였다. 듀티비율이 50% 이상인 경우는 Ti, $N_{2}^{+}$ 및 $Ar^{+ }$ 의 분광선이 나타났으나, 듀터비율이 28.6%이하인 경우 분광선이 전혀 나타나지 않았으며 TiN 코팅층의 형성도... -
PACVD로 증착된 TiN 박막의 밀착성에 관하여
신영식, 김문일, Shin. Y.S., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 8 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 1990, Vol.3 No.1 17-24 (8 pages)
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RF PACVD에 의한 초경합금상에 다이아몬드 박막의 합성
김대일, 이상희, 박구범, 박상현, 이용근, 김보열, 김영봉, 이덕출, Kim. Dae-Il, Lee. Sang-Hee, Park. Gu-Bum, Park. Sang-Hyun, Lee. Yong-Geun, Kim. Bo-Youl, Kim. Young-Bo 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 7 Pages
대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 2000, Vol.49 No.11 596-602 (7 pages)
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플라즈마 화학증착법(PACVD)에 의한 TiN증착시 증착변수가 미치는 영향(II) -TiCl4, N2의 입력분율을 중심으로-
이병호, 신영식, 김문일, Rhee. B.H., Shin. Y.S., Kim. M.I. 한국열처리공학회 열처리공학회지 8 Pages
한국열처리공학회 열처리공학회지 1989, Vol.2 No.4 11-18 (8 pages)


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