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PCB Photo-lithography 공정에 사용되는 Photo-resist인 Dry Film에 대한 물의 확산 침투 현상평가
이춘희, 정기호, 신안섭, Lee. Choon Hee, Jeong. Giho, Shin. An Seob 한국공업화학회 공업화학 6 Pages
한국공업화학회 공업화학 2013, Vol.24 No.6 593-598 (6 pages)
본 연구에서는 ATR-FTIR (Attenuated Total Reflectance-Fourier Transfer Infrared)기법을 이용하여 PCB 회로형성에 사용하는 아크릴레이트 계열의 포토레지스트 드라이필름(Dry film)의 흡습 특성을 평가하였다. 또한 습도 변화에 따른 드라이필름의 파단면을 관찰하여 습도에 따라 고분자의 파단특성이 달라지는 것으로 확인하였으며, 정량적인 분석방법으로써 흡습에 따른 무게 변화 및 ATR-FTIR을 이용한 흡광도 변화를 통하여 확산계수를 계산하였다. 실험 결과 주변환경의 온도와 습도가 높아질수록 상온에서 취성과 연성의 중간... -
Humidity Induced Defect Generation and Its Control during Organic Bottom Anti-reflective Coating in the Photo Lithography Process of Semiconductors
Mun. Seong-Yeol, Kang. Seong-Jun, Joung. Yang-Hee 한국정보통신학회 Journal of information and communication convergence engineering 5 Pages
한국정보통신학회 Journal of information and communication convergence engineering 2012, Vol.10 No.3 295-299 (5 pages)
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Preparation of photoresist-derived carbon micropatterns by proton ion beam lithography and pyrolysis
Hui-Gyun Nam, Jin-Mook Jung, In-Tae Hwang, Junhwa Shin, Chang-Hee Jung, Jae-Hak Choi 한국탄소학회 Carbon Letters 7 Pages
한국탄소학회 Carbon Letters 2017, Vol.24 8 55-61 (7 pages)
Carbon micropatterns (CMs) were fabricated from a negative-type SU-8 photoresist by proton ion beam lithography and pyrolysis. Well-defined negative-type SU-8 micropatterns were formed by proton ion beam lithography at the optimized fluence of 1×1015 ions cm?2 and then pyrolyzed to form CMs. The crosslinked network structures formed by proton irradiation were converted to pseudo-graphitic structures by pyrolysis. The fabricated CMs showed a good electrical conductivity of 1.58×102 S cm?1 and a... -
Electrophoretic and Photolithographic Fluorescent Imaging with t-BOC-Protected Poly(t-BQzMA)-Polyaniline Conducting Particle System
Chi. Ki-Whan, Hwang. Ho-Yun, Ryu. Kwang-Sun, Kim. Jong-Man, Yoon. Ung-Chan, Lee. Chan-Woo 대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2 Pages
대한화학회 Bulletin of the Korean Chemical Society 2009, Vol.30 No.6 1245-1246 (2 pages)
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GMR-SV 소자를 이용한 미크론 자성비드와 결합된 적혈구 검출 특성 연구
이재연, 김문종, 이상석, 이진규, Lee. Jae-Yeon, Kim. Moon-Jong, Lee. Sang-Suk, Rhee. Jin-Kyu 한국자기학회 韓國磁氣學會誌 6 Pages
한국자기학회 韓國磁氣學會誌 2014, Vol.24 No.4 101-106 (6 pages)
Dc 마그네트론 스퍼터링법으로 자기저항비 5.0 %와 자장감응도 1.5 %/Oe를 갖는 glass/Ta(5.8 nm)/NiFe(5 nm)/Cu(2.3 nm)/NiFe(3 nm)/IrMn(12 nm)/Ta(5.8 nm) 다층구조 GMR-SV 박막을 증착하였다. 광 리소그래피 공정으로 적혈구 직경 크기인 $7{mu}m{sim}8{mu}m$ 이내의 선폭인 GMR-SV 소자를 제작하였다. 직경 $1{mu}m$ 크기인 여러 개의 자성비드가 결합된 적혈구를 자기저항비 1.06 % 자장감응도 0.3 %/Oe를 갖는 GMR-SV 소자에 떨어뜨려 -0.6 Oe 부근에서 약 $0.4{Omega}$과 약 0.15 %의 변화를 관찰하였다. 본 연구로부터 미크론... -
원형 경량 압전 복합재료 작동기를 이용한 마이크로 펌프의 개발
구옌탄텅, 구남서 한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 7 Pages
한국항공우주학회 韓國航空宇宙學會誌 2006, Vol.34 No.6 35-41 (7 pages)
본 논문에서는 무밸브 마이크로펌프에 사용되는 압전 다이아프램의 성능을 향상시키는 방법이 연구되었다. 큰 작동 변위와 작동력을 가지는 원형 형태의 경량 압전 복합재료 작동기(LIPCA)를 마이크로 펌프용으로 제작하였다. 유한요소 해석과 실험을 통하여 원형 LIPCA의 성능을 예측하여 최적의 적층 형태를 설계하였다. 최적의 원형 LIPCA를 기반으로 포토리소그라피법과 PDMS 몰딩법을 사용하여 무밸브 마이크로 펌프를 제작하였다. 압전 다이아프램의 작동 변위 및 마이크로 펌프의 유량과 배압을 실험적으로 계측하였고, 반경험식을... -
Co90Fe10/SiO2 Multilayer를 이용한 GHz 자성박막 인덕터 설계 및 제작에 관한 연구
공기준, 윤의중, 진현준, 박노경, 문대철 한국통신학회 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 네트워크 및 서비스 7 Pages
한국통신학회 한국통신학회논문지. The Journal of Korea Information and Communications Society. 네트워크 및 서비스 2000, Vol.25 985-991 (7 pages)
수행하였다. 2GHz에서 동작하는 새로운 자성박막 인덕터는 photo-lithography와 lift-off기술을 이용하여 Si 기판위에 제작되었다. 50개 이상의 동일한 인덕터들의 주파수 특성은 RF Impedance Analyzer로, 자기공진주파수는 Vector Network 분석기(HP8510)로 측정되었다. 개발된 인덕터들은 1.8~2.3GHz 범위의 자기공진주파수, 47~68nH 범위의 L값, 그리고 1GHz이상의 주파수에서 70~80정도의 Q값을 가지므로 L과 Q가 극대화된 아주 우수한 최적구조의 소형(면적=30.8$ imes$30.8mil2) 박막인덕터가 성공적으로 제작되었다. -
CBD법에 위한 ZnO 마이크로 막대 구조체의 2차원 배열 및 수직정렬
이역규, 남효덕, 이상환, 전찬욱, Lee. Yeok-Kyoo, Nam. Hyo-Duk, Lee. Sang-Hwan, Jeon. Chan-Wook 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 7 Pages
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 2009, Vol.22 No.8 682-688 (7 pages)
