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CBD법에 위한 ZnO 마이크로 막대 구조체의 2차원 배열 및 수직정렬
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  • CBD법에 위한 ZnO 마이크로 막대 구조체의 2차원 배열 및 수직정렬
저자명
이역규,남효덕,이상환,전찬욱,Lee. Yeok-Kyoo,Nam. Hyo-Duk,Lee. Sang-Hwan,Jeon. Chan-Wook
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2009년|22권 8호|pp.682-688 (7 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

A periodic away of zinc oxide(ZnO) micro-rods as fabricated by using chemical bath deposition and photo-lithography. Vertically aligned ZnO micro-rods array was successfully grown by chemical bath deposition method on ZnO seed layer. The ZnO seed layer was deposited on glass and the patterning was made by standard photo-lithography technique. The selective growth of ZnO micro-rods as achieved with the masked ZnO seed layer. The fabricated ZnO micro rods were found to be single crystalline and have grown along hexagonal c-axis direction of (0002) which is same as the preferred growth orientation of ZnO seed layer.