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Thickness and Surface Measurement of Transparent Thin-Film Layers using White Light Scanning Interferometry Combined with Reflectometry
Jo. Taeyong, Kim. KwangRak, Kim. SeongRyong, Pahk. HeuiJae 한국광학회 Journal of the Optical Society of Korea 8 Pages
한국광학회 Journal of the Optical Society of Korea 2014, Vol.18 No.3 236-243 (8 pages)
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Methods to Measure the Critical Dimension of the Bottoms of Through-Silicon Vias Using White-Light Scanning Interferometry
Hyun. Changhong, Kim. Seongryong, Pahk. Heuijae 한국광학회 Journal of the Optical Society of Korea 7 Pages
한국광학회 Journal of the Optical Society of Korea 2014, Vol.18 No.5 531-537 (7 pages)
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자유 곡면 형상 측정을 위한 백색광 주사 간섭계의 정확도 향상 및 시스템 오차 분석
김영식, 이혁교, Ghim. Young-Sik, Rhee. Hyug-Gyo 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 9 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2014, Vol.31 No.7 605-613 (9 pages)
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가간섭 영역 외의 배경 잡음성 간섭무늬 신호 필터링을 통한 백색광 주사간섭계의 성능 향상
임해동, 이민우, 이승걸, 박세근, 이일항, 오범환, Yim. Hae-Dong, Lee. Min-Woo, Lee. Seung-Gol, Park. Se-Geun, Lee. El-Hang, O. Beom-Hoan 한국광학회 한국광학회지 4 Pages
한국광학회 한국광학회지 2009, Vol.20 No.5 272-275 (4 pages)
본 논문에서는 백색광 간섭계(White Light Interferometry, WLI)의 데이터 처리 과정에서 가간섭 영역 외의 배경 잡음성 신호 필터링을 통하여 백색광 주사 간섭계의 성능을 향상시켰다. 광학계의 개구수(Numerical Aperture, NA)가 유한한 백색광 간섭계의 경우, 단차가 크고 표면 굴곡이 심한 시료를 측정하게 되면 유한한 초점심도(Depth Of Focus, DOF)에 의하여 배경 잡음이 발생하며, 반사가 심한 경면의 경우에는 간섭무늬 신호보다 배경 잡음의 영향을 많이 받게 된다. 따라서 배경 잡음을 제거하기 위하여 간섭무늬 신호 자체... -
백색광 간섭계의 정밀도 향상을 위한 노이즈 제거 방법
고국원, 조수용, 김민영, Ko. Kuk-Won, Cho. Soo-Yong, Kim. Min-Young 제어로봇시스템학회 제어·로봇·시스템학회 논문지 4 Pages
제어로봇시스템학회 제어·로봇·시스템학회 논문지 2008, Vol.14 No.6 519-522 (4 pages)
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백색광 주사 간섭계의 측정 속도 개선을 위한 서브 샘플링 기법 연구
천인범, 주기남, Chyun. In-Bum, Joo. Ki-Nam 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2014, Vol.31 No.11 999-1006 (8 pages)
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백색광 간섭계를 이용한 LCD Glass의 Pole 높이 측정 검사
고국원, 고경철, 김종형, Ko. Kuk-Won, Ko. Kyung-Cheol, Kim. Jong-Hyeong 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 8 Pages
한국정밀공학회 한국정밀공학회지 2007, Vol.24 No.4 21-28 (8 pages)